专利名称：一种含有鲨齿式触点系统的射频mems开关的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种射频MEMS开关。
背景技术：
目前所制作的带有触点的MEMS开关，通常采用单个或单列触点，当开关工作一定 时间，由于频繁的击打，金属表面会发生腐蚀，触点会引起变形，从而导致开关触点不能与 信号线很好地接触，最终导致失效，减小了开关的寿命。
发明内容
发明目的为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种含有鲨齿式触点系 统的射频MEMS开关，以提高射频MEMS开关的寿命。技术方案为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极、悬臂梁、共面波导信 号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通 过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方；所述射频MEMS开关还 包括鲨齿式触点系统，所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS 开关导通时与于悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统为两组以上触 点，所述每组触点之间存在高度差。所述各组触点沿悬臂梁的固定端向悬臂梁的自由端依次由低向高排列。所述触点为两组。所述每组触点的个数为两个。所述触点的端面为圆形、方形或者多边形中的一种。有益效果本发明提供的一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，有效地改善 了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。射频MEMS开关 工作一段时间后，由于触点变形或表面蚀化会引起接触不良，导致开关失效，本发明的鲨齿 式触点系统使得这一现象得到有效缓解，当右边一列触点失效后，左边一列触点可以作为 补充，较好地实现与信号线的接触，完成信号的传输，对开关性能的提高起了很大的作用。
图1为本发明的正视结构示意图；图2为本发明的俯视结构示意图；图3本发明中鲨齿式触点系统的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作更进一步的说明。图1、图2所示为一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关的结构示意图，包括驱动电极1、悬臂梁3、共面波导信号线4、共面波导地线5、固定锚区6和衬底7，所述驱动 电极1、共面波导信号线4固定在衬底7上，悬臂梁3的固定端通过固定锚区6固定在共面 波导信号线4上，驱动电极1位于悬臂梁3的下方，其特征在于所述射频MEMS开关还包括 鲨齿式触点系统2，所述鲨齿式触点系统2位于悬臂梁3自由端的下方，或者所述射频MEMS 开关导通时与于悬臂梁3自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统2为两组触点， 记为触点21和触点22，所述每组触点之间存在高度差。所述两组触点沿悬臂梁3的固定端向悬臂梁3的自由端依次由低向高排列，触点 22的高度低于触点21的高度；每组触点的个数为两个。所述触点的端面为圆形、方形或者多边形中的一种。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通技术人 员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应 视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极(1)、悬臂梁(3)、共面波 导信号线(4)、固定锚区(6)和衬底(7)，所述驱动电极(1)、共面波导信号线⑷固定在衬 底(7)上，悬臂梁(3)的固定端通过固定锚区(6)固定在共面波导信号线(4)上，驱动电极 (1)位于悬臂梁(3)的下方，其特征在于所述射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统(2)， 所述鲨齿式触点系统(2)位于悬臂梁(3)自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与 于悬臂梁⑶自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统⑵为两组以上触点，所述 每组触点之间存在高度差。
2.根据权利要求1所述的含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，其特征在于所述各 组触点沿悬臂梁(3)的固定端向悬臂梁(3)的自由端依次由低向高排列。
3.根据权利要求1或2所述的含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，其特征在于所 述触点为两组。
4.根据权利要求1或2所述的含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，其特征在于所 述每组触点的个数为两个。
5.根据权利要求1或2所述的含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，其特征在于所 述触点的端面为圆形、方形或者多边形中的一种。
全文摘要
本发明公开了一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极、鲨齿式触点系统、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方；所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与于悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统为两组以上触点，所述每组触点之间存在高度差。本发明提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。
文档编号H01H1/06GK102097222SQ20101058431
公开日2011年6月15日 申请日期2010年12月13日 优先权日2010年12月13日
发明者姜理利, 朱健, 贾世星, 郁元卫 申请人:中国电子科技集团公司第五十五研究所