技术编号:6960510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶体管结构,特别是一种垂直式晶体管结构。 背景技术为了提高集成电路的操作速度,以及符合消费者对于小型化电子装置的需求,半 导体装置中的晶体管尺寸有持续缩小的趋势。然而,随着晶体管尺寸的缩小,晶体管的通道 区长度亦随之缩短,如此造成晶体管遭受严重的短通道效应(short channel effect)以及 导通电流(on current)下降等问题。针对此问题,习知的一种解决方法是提高通道区中的 掺质浓度,但是此种作法反而会造成漏电流(leak...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。