技术编号:6964193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种熔断装置,尤其涉及一种非晶硅薄膜电池铝层熔断装置。 背景技术非晶硅薄膜电池的负极一般为金属铝,其工作过程为利用磁控溅射设备在电池基 材上镀上一层铝层,然后再利用激光刻蚀机把一整块电池基材上的铝层分为若干单元,但 是由于需要划分的单元比较多,并且单元与单元之间的距离很近,再加上磁控溅射设备不 稳定时,造成铝层厚度的不同,给激光刻蚀带来很大的不便,容易造成需要刻蚀的铝层部分 没有完全被刻蚀掉,导致铝层单元与单元之间短路,从而影响电池质量。实用...
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