技术编号:6967691
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体芯片测试领域,特别涉及一种范德堡电阻的测试电路。 背景技术在半导体芯片制造工艺过程中,会通过测试半导体芯片电阻来监控半导体芯片的 掺杂效果,一般可采用范德堡电阻测试结构。具体地,在待测实体(半导体芯片)两端加恒定电流112,测量与待测实体连接的 两个端口之间的电压V34,则待测实体的电阻值可通过公式R = 4. 532XV34/I12得到。实际上,在范德堡电阻测试结构中,测得的电压V34并不是待测实体两端的电压, 而是与待测实体连接的两...
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