技术编号：6977052
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子信息材料中硅材料的加工领域，特别涉及一种清洗硅片用清洗筐，清洗筐应用于硅片前道清洗工序。背景技术近年来，由于电子信息产业的飞速发展、产品需求的不断提高，对电子产品的主要原材料一硅晶圆片在质量方面提出了更高的要求。顺从大的趋势，对晶圆片的表面质量要求越来越高。同时随着信息产业对硅片需求量的不断提高，要求生产出更多的硅晶圆片，对清洗工序的产量也提出新的要求。但是传统清洗工序中的清洗筐设计比较落后，并且迟迟没有改进，严重制约了清洗环节的发展。传...
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