技术编号:6979273
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造领域,具体属于一种硅片存储装置释压缓冲器。 背景技术在硅片的生产过程中,需要用到DPS(双耦合等离子系统)设备机台,这种机台通常有两个硅片存储装置ι用来放置硅片2,如附图说明图1所示,每个硅片存储装置1中各有一个不锈钢材质的金属片盒4。每个片盒4有多个槽,硅片通过大气搬送系统被搬送到片盒的槽中。由于这种机台在高真空的情况下作业,这就要求硅片在大气状态下通过干泵5抽到真空状态,而硅片存储装置1其实就是一个转换压力用的压力转变存储器。硅...
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