技术编号:6984818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机[0001]本实用新型涉及一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机。背景技术[0002]目前太阳能电池制造过程中,包含有很多工序,其中包含硅片刻蚀。刻蚀是半导体制造工艺、微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的工艺步骤。在上述工序中硅片需要装到PSS盘中,再放入机械手传输到刻蚀区进行工艺加工。在此工艺中,硅片装盘是处于人工装片状态,硅片又薄又脆,所以该方式容易出现碎片率高,且PSS盘内有18 个槽用于放片,要用人工方式又...
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