技术编号：6986039
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空处理系统，尤其涉及一种生产薄膜太阳能电池的真空处理系统。背景技术如图1所示，是现有技术中生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的结构示意图。 所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统1包含传输腔11，加载卸载腔12和若干处理腔 13。其中，所述加载卸载腔12和所述处理腔13呈星型设置在传输腔11的周围。并且，所述传输腔11包含一腔体111和设置在所述腔体111中的传输机械手112。所述每个加载卸载腔12和每个处理腔13分别通过一个隔离阀14与所...
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