专利名称：真空处理系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空处理系统，尤其涉及一种生产薄膜太阳能电池的真空处理系统。
背景技术：
如图1所示，是现有技术中生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的结构示意图。 所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统1包含传输腔11，加载卸载腔12和若干处理腔 13。其中，所述加载卸载腔12和所述处理腔13呈星型设置在传输腔11的周围。并且，所述传输腔11包含一腔体111和设置在所述腔体111中的传输机械手112。所述每个加载卸载腔12和每个处理腔13分别通过一个隔离阀14与所述传输腔11的腔体111相连接。然而，当需要对上述的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统1的内部进行维修或维护时，为了能进入到所述真空处理系统1的内部，需要先将呈星型设置在传输腔11周围的处理腔13或加载卸载腔12中的一个或多个拆卸下来；在对所述真空处理系统1完成维修或维护工作后，再重新装配之前被拆卸下来的处理腔13或加载卸载腔12，使所述处理腔 13或加载卸载腔12再次与传输腔11连接。由于所述处理腔13或加载卸载腔12与传输腔11的连接需要精确对位，且通常所述处理腔13或加载卸载腔12都较重，同时在拆装过程中又极容易对传输腔11造成污染。 因此，造成所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统1的内部维修或维护非常不方便，需要耗费大量的时间和人力物力成本，降低了生产效率。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，以解决现有技术中对真空处理系统内部维护不便的问题。本实用新型的技术方案是提供一种用于处理衬底的真空处理系统，其包含传输腔，以及设置在所述传输腔周围并与所述传输腔连接的加载卸载腔和处理腔；其中，所述传输腔上设置有维护入口。所述维护入口设置在所述加载卸载腔与所述处理腔之间的所述传输腔的侧壁上， 或者设置在所述处理腔与处理腔之间的所述传输腔的侧壁上，或者设置在所述加载卸载腔与加载卸载腔之间的所述传输腔的侧壁上，或者设置在上述位置的部分或全部。所述处理腔包含若干垂直堆栈设置的子处理腔。所述维护入口包含若干可独立开启和关闭的子入口，每个子入口分别与所述子处
理腔对应设置。所述加载卸载腔包含若干垂直堆栈设置的加载卸载子腔，所述每个加载卸载子腔分别与所述子处理腔对应设置。所述每个加载卸载子腔内设置有衬底加热装置。所述传输腔还包含一设置在传输腔底面中央的传输机械手。所述传输机械手包含在垂直方向上层叠设置的若干搬运臂，每个搬运臂与所述加载卸载子腔以及子处理腔对应设置。所述加载卸载腔的两端分别设置有隔离阀，其一端通过隔离阀固定安装在传输腔的侧壁上，使所述加载卸载腔与传输腔连接；所述加载卸载腔的另一端通过所述隔离阀与大气隔离。所述处理腔的一端通过隔离阀固定安装在传输腔的侧壁上，使所述处理腔与传输腔连接。所述真空处理系统用于生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，所述衬底的面积大于等于0.7平方米。使用本实用新型所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，具有以下优点。1、在传输腔侧壁上设置有维护入口，维护人员可以方便地开启所述维护入口，并通过所述维护入口对所述真空处理系统的内部进行维护工作，无需对处理腔或者加载卸载腔进行拆除和再装配，省时省力。2、由于所述处理腔包含多个垂直堆栈设置的子处理腔，所述加载卸载腔包含多个垂直堆栈设置的对应子处理腔，由此可以一次处理多片衬底，同时对其进行加载、预热、传输、沉积薄膜、卸载等，有效提高生产效率。3、由于传输腔内需要较高的洁净度，而且所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的维护主要是对处理腔内的子处理腔进行维护。因此，通过设置与所述子处理腔对应的维护入口的子入口，可以方便对子处理腔进行维护的同时，减少对传输腔的污染，以保持传输腔的洁净度。4、在每个加载卸载子腔内均设置有加热装置，可以对衬底进行预热，从而减少衬底在处理腔中沉积薄膜时的加热时间，进一步提高生产效率。
图1是现有技术中生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的结构示意图。图2是本实用新型中生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的结构示意图。图3是图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统沿I-I线的剖面结构示意图。图4是图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的一种实施例沿II-II线的剖面结构示意图。图5是图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的另一种实施例沿II-II 线的剖面结构示意图。
具体实施方式
以下结合图2 图5，详细说明本实用新型的具体实施方式
。如图2所示，为本实用新型中所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的结构示意图。所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统2处理的衬底面积，优选地大于等于0. 7 平方米，所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统2包含传输腔21，以及呈星型设置在所述传输腔21周围的加载卸载腔22和处理腔23。每个加载卸载腔22和每个处理腔23分别
4通过一隔离阀25与所述传输腔21连接。在本实施例中，所述真空处理系统包括两个加载卸载腔22和三个处理腔23。其中，所述传输腔21是一个真空传输腔，其包含一真空腔体212和设置在所述真空腔体212底面中央的传输机械手211。所述加载卸载腔22和处理腔23分别通过所述隔离阀25固定安装在所述真空腔体212的侧壁上。进一步，在所述真空腔体212的侧壁上还设置有维护入口 24，其位于加载卸载腔22与处理腔23之间，或者位于处理腔23与处理腔 23之间，或者位于加载卸载腔22与加载卸载腔22之间。优选的，所述维护入口 M设置在所述处理腔23与处理腔23之间。如图3所示，其为图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统沿I-I线的剖面结构示意图。所述加载卸载腔22不仅与传输腔21连接的一端设置有隔离阀25，使得所述加载卸载腔22固定安装在传输腔21上且与所述传输腔21隔离；所述加载卸载腔22的另一端也设置有隔离阀25，将所述加载卸载腔22与大气隔离。所述加载卸载腔22包含若干垂直堆栈设置的加载卸载子腔221，从而可以同时加载或卸载多片衬底。更进一步，在本实用新型的优选实施例中，在所述每个加载卸载子腔 221内还设置有衬底加热装置(图中未示)，用于对所加载的衬底进行预热。所述传输机械手211包含在垂直方向上层叠设置的若干搬运臂213，每个搬运臂 213与所述每个加载卸载子腔221对应设置。如图4所示，其为图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的一种实施例沿II-II线的剖面结构示意图。所述处理腔23通过隔离阀25固定安装并连接所述传输腔 21，所述隔离阀25用于隔离所述处理腔23和传输腔21。所述处理腔23包含若干垂直堆栈设置的子处理腔231，每个子处理腔231与所述每个加载卸载子腔221以及每个搬运臂213 对应设置。所述维护入口 M在真空腔体212的侧壁上的开设位置的高度与加载卸载腔22和处理腔23的高度相当，使得当所述维护入口 M开启时，维修人员可以通过所述维护入口 M 对各个加载卸载子腔221或子处理腔231实施维修工作。如图5所示，其为图2所示的生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的另一种实施例沿II-II线的剖面结构示意图。其与如图4所示实施例的区别在于所述维护入口对包含若干能独立开启和关闭的子入口 M1，每个子入口 Ml均与所述加载卸载子腔221以及子处理腔231对应设置，使得只要开启某个子入口 M1，就能方便的对所述对应的加载卸载子腔221或者子处理腔231实施维护维修工作。本实用新型所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，通过开启使加载卸载腔22 与大气隔离的所述隔离阀25，可以同时在加载卸载腔22的每个加载卸载子腔221内加载衬底，使得一次性可加载多片衬底，通过每个加载卸载子腔221内的衬底加热装置对衬底进行预热等预处理，随后打开与传输腔21连接处的隔离阀25，利用与每个加载卸载子腔221 对应设置的传输机械手211的搬运臂213将衬底从所述加载卸载子腔221中取出，通过传输腔21的真空腔体212，送入处理腔23的对应各个子处理腔231中进行处理，如进行薄膜沉积。待衬底处理完成后，再由搬运臂213将各个子处理腔231中的衬底送回到加载卸载子腔221内，并卸载沉积完成的薄膜和衬底。当所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统内部需要维护时，可通过打开设置在传输腔21的真空腔体212的侧壁上的维护入口 M进入真空处理系统的内部，对相应的子处理腔231或者加载卸载子腔221进行维护工作。又或者，当只需要对其中某一个子处理腔231或者加载卸载子腔221进行维护时，可以通过设置在传输腔21的真空腔体212的侧壁上的维护入口 M中，与所述子处理腔231或加载卸载子腔221处于对应位置的维护子入口 241进入真空处理系统内部，对对应的某一个子处理腔231或者加载卸载子腔221进行维护工作。使用本实用新型所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，具有以下优点。1、在传输腔侧壁上设置有维护入口，维护人员可以方便地开启所述维护入口，并通过所述维护入口对所述真空处理系统的内部进行维护工作，无需对处理腔或者加载卸载腔进行拆除和再装配，省时省力。2、由于所述处理腔包含多个垂直堆栈设置的子处理腔，所述加载卸载腔包含多个垂直堆栈设置的对应子处理腔，由此可以一次处理多片衬底，同时对其进行加载、预热、传输、沉积薄膜、卸载等，有效提高生产效率。3、由于传输腔的真空腔体内需要较高的洁净度，而且所述生产薄膜太阳能电池的真空处理系统的维护主要是对处理腔内的子处理腔进行维护。因此，通过与所述子处理腔对应设置的维护入口的子入口进入系统内部，可以方便对子处理腔进行维护的同时，减少对传输腔的污染，以保持传输腔的洁净度。4、在每个加载卸载子腔内均设置有衬底加热装置，可以对衬底进行预热，从而减少衬底在处理腔中沉积薄膜时的加热时间，进一步提高生产效率。尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。
权利要求1.一种用于处理衬底的真空处理系统，其包含传输腔01)，以及设置在所述传输腔 (21)周围并与所述传输腔连接的加载卸载腔02)和处理腔03)；其特征在于，所述传输腔上设置有维护入口 04)。
2.如权利要求1所述真空处理系统，其特征在于，所述维护入口04)设置在所述加载卸载腔0 与处理腔之间的所述传输腔的侧壁上，或者设置在所述处理腔03) 与处理腔之间的所述传输腔的侧壁上，或者设置在所述加载卸载腔0 与加载卸载腔02)之间的所述传输腔的侧壁上。
3.如权利要求2所述真空处理系统，其特征在于，所述处理腔03)包含若干垂直堆栈设置的子处理腔031)。
4.如权利要求3所述真空处理系统，其特征在于，所述维护入口04)包含若干能够独立开启和关闭的子入口 041)，每个子入口(Ml)分别与所述子处理腔031)对应设置。
5.如权利要求3或4中任一项所述真空处理系统，其特征在于，所述加载卸载腔02) 包含若干垂直堆栈设置的加载卸载子腔021)，所述每个加载卸载子腔021)分别与所述子处理腔(231)对应设置。
6.如权利要求5所述真空处理系统，其特征在于，所述每个加载卸载子腔(221)内设置有衬底加热装置。
7.如权利要求5所述真空处理系统，其特征在于，所述传输腔还包含一设置在所述传输腔底面中央的传输机械手011)，所述传输机械手011)包含在垂直方向上层叠设置的若干搬运臂013)，每个搬运臂(213)与所述加载卸载子腔021)以及所述子处理腔(231)对应设置。
8.如权利要求1所述真空处理系统，其特征在于，所述加载卸载腔02)的两端分别设置有隔离阀05)；所述加载卸载腔02)的一端通过隔离阀05)固定安装在传输腔的侧壁上，使所述加载卸载腔0 与传输腔连接；所述加载卸载腔02)的另一端通过所述隔离阀05)与大气隔离。
9.如权利要求1所述真空处理系统，其特征在于，所述处理腔03)的一端通过一隔离阀0 固定安装在传输腔的侧壁上，使所述处理腔与传输腔连接。
10.如权利要求1所述真空处理系统，其特征在于，所述真空处理系统用于生产薄膜太阳能电池的真空处理系统，所述衬底的面积大于等于0. 7平方米。
专利摘要本实用新型公开了一种真空处理系统，用于生产薄膜太阳能电池，其包含传输腔，以及设置在所述传输腔周围且与该传输腔连接的加载卸载腔和若干处理腔；其中，所述的传输腔的侧壁上设置有若干维护入口。所述维护入口设置在加载卸载腔与处理腔之间的所述侧壁上，或者设置在处理腔与处理腔之间的所述侧壁上，或者设置在加载卸载腔与加载卸载腔之间的所述侧壁上。本实用新型所提供的真空处理系统，可方便对系统内部进行维护工作。
文档编号H01L31/18GK201966237SQ20102069882
公开日2011年9月7日 申请日期2010年12月20日 优先权日2010年12月20日
发明者吴红星, 胡兵 申请人:理想能源设备有限公司