一种固化系统的真空装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及固化系统真空装置，尤其涉及一种固化系统的真空装置。
【背景技术】
[0002]IC模块封装后需要固化，这样就需要一定时间内给予一定的温度使其固化，所以底板温度对于IC模块的固化有相当重要的作用;这样对于带子与加热底板接触度提出了更高的要求，如果按照传统方法直接将带子放置在加热底板表面，当带子受热后容易发生弯曲甚至变形，这样不利于底板温度传送到带子上，从而导致胶水没有完全固化，严重时损伤带子甚至会对带子上的IC模块造成损坏，最终影响产品的合格率。
【发明内容】
[0003]针对现有固化系统真空装置的不足，本实用新型提供一种固化系统的真空装置，本实用新型采用以下技术方案:一种固化系统的真空装置，包括:I号流量调节阀、真空马达、吹气电磁阀、真空电磁阀、真空/压力显示器、加热底板、2号流量调节阀，所述真空马达与真空电磁阀之间通过I号流量调节阀相连接，所述吹气电磁阀与气源之间通过2号流量调节阀相连接，所述加热底板上设有多个圆孔，所述真空电磁阀和吹气电磁阀均与电源相连接，所述加热底板与电源相连接，所述真空/压力显示器与真空电磁阀且与吹气电磁阀相连接。
[0004]优选的，所述圆孔直径不大于3mm。
[0005]优选的，所述真空电磁阀的真空值为-0.2?-0.4bar之间。
[0006]优选的，所述吹气电磁阀的吹气值为I?2bar之间。
[0007]本实用新型的有益效果:本实用新型采用真空把带子吸附在加热底板的表面;在每个加热底板上开数个直径不大于3mm的圆孔，让真空可以通过这些圆孔来吸附带子。
[0008]该系统具有吹气功能;这样就需要电磁阀得失电来切换真空与吹气，并且真空与吹气为逻辑互锁关系；当带子传送到固化系统单元时，真空电磁阀得电，真空导通，带子被吸附在加热底板上，并且将底板上的热量传递到带子上；固化结束后真空电磁阀失电，同时吹气电磁阀得电，将底板上的带子轻微吹起让带子及时回收。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型一种固化系统的真空装置的原理图。
【具体实施方式】
[0010]由图1所示可知，本实用新型一种固化系统的真空装置，包括:I号流量调节阀、真空马达、吹气电磁阀、真空电磁阀、真空/压力显示器、加热底板、2号流量调节阀，所述真空马达与真空电磁阀之间通过I号流量调节阀相连接，所述吹气电磁阀与气源之间通过2号流量调节阀相连接，所述加热底板上设有多个圆孔，所述真空电磁阀和吹气电磁阀均与电源相连接，所述加热底板与电源相连接，所述真空/压力显示器与真空电磁阀且与吹气电磁阀相连接。
[0011 ]本实例中优选的，所述圆孔直径不大于3_。
[0012]本实例中优选的，所述真空电磁阀的真空值为-0.2?-0.4bar之间。
[0013]本实例中优选的，所述吹气电磁阀的吹气值为I?2bar之间。
[0014]上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种固化系统的真空装置，包括:1号流量调节阀、真空马达、吹气电磁阀、真空电磁阀、真空/压力显示器、加热底板、2号流量调节阀，其特征在于:所述真空马达与真空电磁阀之间通过I号流量调节阀相连接，所述吹气电磁阀与气源之间通过2号流量调节阀相连接，所述加热底板上设有多个圆孔，所述真空电磁阀和吹气电磁阀均与电源相连接，所述加热底板与电源相连接，所述真空/压力显示器与真空电磁阀且与吹气电磁阀相连接。2.根据权利要求1所述的一种固化系统的真空装置，其特征在于，所述圆孔直径不大于3mm ο3.根据权利要求1所述的一种固化系统的真空装置，其特征在于，所述真空电磁阀的真空值为-0.2?-0.4bar之间。4.根据权利要求1所述的一种固化系统的真空装置，其特征在于，所述吹气电磁阀的吹气值为I?2bar之间。
【专利摘要】本实用新型提供一种固化系统的真空装置，包括1号流量调节阀、真空马达、吹气电磁阀、真空电磁阀、真空/压力显示器、加热底板、2号流量调节阀，真空马达与真空电磁阀之间通过1号流量调节阀相连接，吹气电磁阀与气源之间通过2号流量调节阀相连接，吹气电磁阀和真空电磁阀的出气端通过三通接头与加热底板相连。加热底板上设有多个圆孔，真空电磁阀和吹气电磁阀均与电源相连接，加热底板与电源相连接，真空/压力显示器与真空电磁阀且与吹气电磁阀相连接；本实用新型采用真空把带子吸附在加热底板的表面；在每个加热底板上开数个直径不大于3mm的圆孔，让真空可以通过这些圆孔来吸附带子。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205376481
【申请号】CN201620106640
【发明人】罗前广, 陈伟扬, 吕龙
【申请人】纽豹智能识别技术(无锡）有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年2月3日