便携式硅片p型和n型快速区分仪的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型设及半导体测试设备领域，特别是设及一种便携式娃片P型和N型快速 区分仪。
【背景技术】
[0002] 现有技术中，形成半导体器件时，需要在晶圆表面经过多个工艺步骤。若是其中任 何一个工艺步骤的调整控制不当，则会使得形成的半导体器件出现质量问题，导致晶圆的 报废。因此，在实际的生产线中，每当一个工艺步骤的各参数调整完成，会采用此工艺步骤 对挡控娃片(Con化ol/Dummy wafer)进行测试，经检测分析证实此工艺步骤能正确地形成 半导体器件。
[0003] 随着半导体制程技术不断向深微米尺寸发展，整个制程生产线不断向更高精密度 发展。为保证在不断缩小的特征尺寸的集成电路制造同样具有较好的成品率，因此需要采 用挡控娃片对不同阶段的制程过程进行监控和测试W验证机台工作的性能。通常挡控娃片 需要循环使用，W降低挡控娃片使用成本。例如，在进行沉积工艺前，为使得沉积的薄膜厚 度和均等度符合半导体器件的要求，或者沉积工艺中所产生的颗粒是否在允许范围内，会 先在晶圆控片上沉积所述薄膜，待确认正确后才将薄膜形成在实际要用来制造半导体器件 的晶圆上。
[0004] 由于挡控娃片使用量非常大，且在使用过程中，部分区域将棚离子或憐离子注入 娃片内，形成P型或N型娃片，但经过注入后的娃片表面没有任何区别，因此肉眼无法区分P 型和N型。
[0005] 目前，主要利用价格昂贵的ADE机台进行挡控娃片回收再利用（reclaim)前的测 试，W区分P型和N型，但是运种测试速度慢且使用成本高。
[0006] 因此，提供一种新的娃片P型和N型快速区分仪实属必要。 【实用新型内容】
[0007] 鉴于W上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种便携式娃片P型 和N型快速区分仪，用于解决现有技术中区分P型和N型娃片的测试方法速度慢且成本高的 问题。
[000引为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种便携式娃片P型和N型快速 区分仪，所述区分仪至少包括：
[0009] 绝缘手柄；
[0010] 第一金属探针、第二金属探针，分别设置在所述绝缘手柄上，所述第一金属探针和 第二金属探针头部接触待测娃片；
[0011] 发热元件，安装在所述第一金属探针上；
[0012] 万用表，接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。
[0013] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述娃片为 挡控娃片。
[0014] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述第一金 属探针及发热元件表面包覆有隔热件。
[0015] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述第一金 属探针和第二金属探针的头部之间连接有固定件。
[0016] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述第一金 属探针和第二金属探针为同种金属，材质为不诱钢或者铁。
[0017] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述发热电 阻的发热溫度范围为400~500°C。
[0018] 作为本实用新型便携式娃片P型和N型快速区分仪的一种优化的结构，所述万用表 连接在所述第一金属探针和第二金属探针之间且靠近手柄。
[0019] 如上所述，本实用新型的便携式娃片P型和N型快速区分仪，包括:绝缘手柄;第一 金属探针、第二金属探针，分别设置在所述绝缘手柄上，所述第一金属探针和第二金属探针 头部接触待测娃片;发热元件，安装在所述第一金属探针上;万用表，接在所述第一金属探 针和第二金属探针之间。本实用新型的区分仪依循的是汤姆逊溫差电效应的原理，使用时， 将发热元件接通发热，当待测娃片为N型时，溫差电动势从第二金属探针端指向第一金属探 针端；当待测娃片为P型时，溫差电动势从第一金属探针端指向第二金属探针端，在万用表 上呈现正负相反的电压值，从而可W快速区分娃片是N型还是P型。
【附图说明】
[0020] 图1显示为本实用新型的便携式娃片P型和N型快速区分仪的结构示意图。
[0021] 图2显示为本实用新型的便携式娃片P型和N型快速区分仪的另一结构示意图。
[0022] 元件标号说明
[0023] 1 绝缘手柄
[0024] 2 第一金属探针
[00巧]3 第二金属探针
[0026] 4 发热元件
[0027] 5 万用表
[002引 6 待测娃片
[0029] 7 隔热件
[0030] 8 固定件
【具体实施方式】
[0031] W下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人±可由本 说明书所掲露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0032] 请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用W 配合说明书所掲示的内容，W供熟悉此技术的人±了解与阅读，并非用W限定本实用新型 可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的 调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型 所掲示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如"上"、"下"、"左"、 "右"、"中间"及"一"等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用W限定本实用新型可实施的 范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的 范畴。
[0033] 如图1所示，本实用新型提供一种便携式娃片P型和N型快速区分仪，所述区分仪至 少包括:绝缘手柄1、第一金属探针2、第二金属探针3、发热元件4W及万用表5。
[0034] 所述绝缘手柄1可W方便使用者握持，将人体与金属隔绝，其形状不限。
[0035] 所述第一金属探针2和第二金属探针3分别设置在所述绝缘手柄1上，具体设置在 绝缘手柄1的前端。所述第一金属探针2和第二金属探针3的头部(远离所述绝缘手柄1的一 端)直接与待测娃片6接触。所述第一金属探针2和第二金属探针3为同种金属材料，一般为 与待测娃片6接触后不会污染娃片的金属材料，例如不诱钢或者铁，当然，也可W是其他合 适的金属材料，在此不