限。
[0036] 作为示例，所述待测娃片6优选为挡控娃片，所述挡控娃片在回收利用过程中需要 对娃片的类型(N型或者P型)进行测试区分。
[0037] 所述发热元件4安装在所述第一金属探针2上。作为示例，所述发热元件4优选为发 热电阻，在使用时，将发热电阻外接至电源。通电后发阻电阻发热，发热后的发热电阻会将 热量传导至整根第一金属探针2,使第一金属探针2和第二金属探针3具有一定的溫差。
[0038] -般，所述发热元件4溫度越高，测试的准确度越高，但是也要考虑到溫度太高会 对整个区分仪W及娃片6造成损伤。因此，所述发热元件4的发热溫度范围优选在400~500 °C范围内。本实施例中，所述发热元件4的发热溫度为500°C。在其他实施例中，所述发热元 件4的发热溫度还可W为400°C、420°C、450°C或者480°C等等。
[0039] 所述万用表5接在所述第一金属探针2和第二金属探针3之间。作为示例，所述万用 表5连接在所述第一金属探针2和第二金属探针3之间且靠近手柄。当然，所述万用表5也可 W直接接在第一金属探针2和所述第二金属探针3的头部两端。
[0040] 本实用新型提供的区分仪的工作原理为:将汤姆逊溫差电效应(热电第=效应)运 用在半导体娃片测试中，达到区分P、N型的目的。
[0041] 具体为:若待测娃片6为P型时，则热端(第一金属探针2)空穴向冷端(第二金属探 针3)扩散，娃片内部出现电场漂移效应来阻止运种扩散效应，两种效应相互抵消达到平衡 后，娃片则产生出区域溫差电动势，此时，溫差电动势从是热端指向冷端。
[0042] 若待测娃片6为N型时，则热端（第一金属探针2)电子向冷端（第二金属探针3)扩 散，根据相同机理，此时，溫差电动势从是冷端指向热端。
[0043] 由于P型和N型的溫差电动势方向不同，使用时，万用表5的电压数值则呈现正负之 分，W此来判断待测娃片6的类型。
[0044] 进一步地，如图2所示，所述区分仪还包括一隔热件7,所述隔热件7包覆在所述第 一金属探针2及发热元件4表面。利用隔热件7可W起到防护作用，避免使用人员在使用过程 中烫伤。
[0045] 更进一步地，如图2所示，所述区分仪还包括一固定件8,所述固定件8连接在所述 第一金属探针2和第二金属探针3的头部之间，所述固定件8-方面可W使所述第一金属探 针2和第二金属探针3头部之间的距离固定，便于使用，另一方面也可W起到防护的作用。
[0046] 表1是本实用新型的P、N区分仪测试的数据与利用ADE机台进行测试获得数据的对 比。
[0047] 表 1 [004引
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[UUDU J 出衣i B」W有出，不U用伞乂用新坐的匹丹1 乂氷巧断N坐现巧坐的效化结义q观材 技术中利用ADE机台进行测试的结果一致，说明本实用新型的区分仪可W准确判断娃片是P 型还是N型，并且快速有效、成本低。
[0051] 综上所述，本实用新型提供一种便携式娃片P型和N型快速区分仪，包括：绝缘手 柄;第一金属探针、第二金属探针，分别设置在所述绝缘手柄上，所述第一金属探针和第二 金属探针头部接触待测娃片;发热元件，安装在所述第一金属探针上;万用表，接在所述第 一金属探针和第二金属探针之间。本实用新型的区分仪依循的是汤姆逊溫差电效应的原 理，使用时，将发热元件接通发热，当待测娃片为N型时，溫差电动势从第二金属探针端指向 第一金属探针端；当待测娃片为P型时，溫差电动势从第一金属探针端指向第二金属探针 端，在万用表上呈现正负相反的电压值，从而可W快速区分娃片是N型还是P型。
[0052] 所W，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0053] 上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新 型。任何熟悉此技术的人±皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行 修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所掲示的精 神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1. 一种便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于，所述区分仪至少包括： 绝缘手柄； 第一金属探针、第二金属探针，分别设置在所述绝缘手柄上，所述第一金属探针和第二 金属探针头部接触待测硅片； 发热元件，安装在所述第一金属探针上； 万用表，接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。2. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述硅片为挡 控硅片。3. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述第一金属 探针及发热元件表面包覆有隔热件。4. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述第一金属 探针和第二金属探针的头部之间连接有固定件。5. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述第一金属 探针和第二金属探针为同种金属，材质为不锈钢或者铁。6. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述发热电阻 的发热温度范围为400~500°C。7. 根据权利要求1所述的便携式硅片P型和N型快速区分仪，其特征在于:所述万用表连 接在所述第一金属探针和第二金属探针之间且靠近手柄。
【专利摘要】本实用新型提供一种便携式硅片P型和N型快速区分仪，包括：绝缘手柄；第一金属探针、第二金属探针，分别设置在所述绝缘手柄上，所述第一金属探针和第二金属探针头部接触待测硅片；发热元件，安装在所述第一金属探针上；万用表，接在所述第一金属探针和第二金属探针之间。本实用新型的区分仪依循的是汤姆逊温差电效应的原理，使用时，将发热元件接通发热，当待测硅片为N型时，温差电动势从第二金属探针端指向第一金属探针端；当待测硅片为P型时，温差电动势从第一金属探针端指向第二金属探针端，在万用表上呈现正负相反的电压值，从而可以快速区分硅片是N型还是P型。
【IPC分类】H01L21/66
【公开号】CN205376476
【申请号】CN201620133335
【发明人】张恒辉, 汤敬计
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年2月22日