一种新型镀铝机的制作方法

本实用新型涉及镀铝设备技术领域，特别是一种新型镀铝机。

背景技术：

镀铝机是在真空条件下，利用电子束加热蒸材料，使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备。其原理为：由电子枪产生的电子束在电场的作用下获得功能打在晶片上，当加速电压足够高时，所产生的热能使膜材加热气化。镀铝机一般由真空系统、蒸发系统和高压发生装置组成，但是现有技术中的镀铝机真空效果不是很好，常常会影响镀铝效果，因此，需要对其进行改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种新型镀铝机。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种新型镀铝机，包括底座，所述底座上设有油扩散泵，所述底座上还设有真空罩，所述油扩散泵与真空罩之间连接有连接管，所述真空罩内设有行星盘旋转驱动装置，所述行星盘旋转驱动装置上设有蒸发底板，所述蒸发底板上设有一组电极，所述一组电极之间连接有蒸发舟，所述蒸发舟上设有被蒸发材料，所述真空罩上端设有放置框架，所述放置框架上设有膜厚检测装置，所述真空罩侧表面且位于放置框架相对应处设有开口，所述开口处设有阀门，所述真空罩上设有高压变压器及大功率电子管。

所述油扩散泵的底部安装有加热盘。

所述放置框架下方设有烘烤加热装置。

所述电极外侧下端设有电极外圈。

所述电极外圈为陶瓷外圈。

利用本实用新型的技术方案制作的新型镀铝机，采用油扩散泵和膜厚检测装置，解决了上述背景技术中所提出的问题，油扩散泵底部安装加热盘，提高了加热温度，真空效果更好，同时电极外圈减少了减少了电极与蒸发底板之间的导电现象，大大提高了镀铝质量，同时可随时监测膜厚，更加智能化。

附图说明

图1是本实用新型所述新型镀铝机的结构示意图；

图中，1、底座；2、油扩散泵；3、真空罩；4、连接管；5、行星盘旋转驱动装置；6、蒸发底板；7、电极；8、蒸发舟；9、被蒸发材料；10、放置框架；11、膜厚检测装置；12、开口；13、阀门；14、高压变压器；15、大功率电子管；16、加热盘；17、烘烤加热装置；18、电极外圈。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1所示，一种新型镀铝机，包括底座1，所述底座1上设有油扩散泵2，所述底座1上还设有真空罩3，所述油扩散泵2与真空罩3之间连接有连接管4，所述真空罩3内设有行星盘旋转驱动装置5，所述行星盘旋转驱动装置5上设有蒸发底板6，所述蒸发底板6上设有一组电极7，所述一组电极7之间连接有蒸发舟8，所述蒸发舟8上设有被蒸发材料9，所述真空罩3上端设有放置框架10，所述放置框架10上设有膜厚检测装置11，所述真空罩3侧表面且位于放置框架10相对应处设有开口12，所述开口12处设有阀门13，所述真空罩3上设有高压变压器14及大功率电子管15；所述油扩散泵2的底部安装有加热盘16；所述放置框架10下方设有烘烤加热装置17；所述电极7外侧下端设有电极外圈18；所述电极外圈18为陶瓷外圈。

本实施方案的特点为，底座1上设有油扩散泵2，底座1上还设有真空罩3，油扩散泵2与真空罩3之间连接有连接管4，真空罩3内设有行星盘旋转驱动装置5，行星盘旋转驱动装置5上设有蒸发底板6，蒸发底板6上设有一组电极7，一组电极7之间连接有蒸发舟8，蒸发舟8上设有被蒸发材料9，真空罩3上端设有放置框架10，放置框架10上设有膜厚检测装置11，真空罩3侧表面且位于放置框架10相对应处设有开口12，开口12处设有阀门13，真空罩3上设有高压变压器14及大功率电子管15，采用油扩散泵和膜厚检测装置，解决了上述背景技术中所提出的问题，油扩散泵底部安装加热盘，提高了加热温度，真空效果更好，同时电极外圈减少了减少了电极与蒸发底板之间的导电现象，大大提高了镀铝质量，同时可随时监测膜厚，更加智能化。

在本实施方案中，首先将需要镀铝材料从开口12处放置到放置框架10上，然后关上阀门13，之后启动油扩散泵2，由于油扩散泵2底部设有加热盘16，故可以保证加热温度保持在240℃以上，使得油扩散泵2对真空罩3的抽真空效果更好，将被蒸发材料9放置在蒸发舟8上，然后行星盘旋转驱动装置5上的蒸发区域开始工作，此过程中电极外圈18设有陶瓷电机外圈，使得电极7与蒸发底板6之间的导电现象减少，提高了镀铝效果，然后高压变压器14、大功率电子管15及烘烤加热装置17工作，对镀铝薄膜表面进行烘干处理，同时设有膜厚检测装置11，可以随时监测镀铝的膜厚程度。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。