技术编号:6989007
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开的领域本公开文本所揭示的实施例一般涉及金属-绝缘体-金属(MIM)电容器,并尤其涉及适于以嵌入式技术制造这种电容器的技术。本公开的背景技术存储器访问时间是影响计算机系统性能的重要因素。通常通过将存储器和处理器放置在同一管芯上或同一封装内来增强系统性能,而嵌入式动态随机存取存储器(嵌入式 DRAMdPeDRAM)是这样的管芯上存储器技术或封装上存储器技术的示例。因为电容器是 eDRAM的数据存储元件,eDRAM的制造包括制造嵌入式电容器——一种包括减法...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。