技术编号:6989098
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在对原料溶液进行涂布烧成而形成PZT膜、SBT膜等铁电体薄膜的溶胶-凝胶法等的CSD法中为了将原料溶液的涂布膜的外周端部除去所使用的CSD涂布膜除去用液和使用其将涂布膜的外周端部除去的方法以及铁电体薄膜及其制造方法。本申请基于2009年6月30日申请的日本特愿2009-156064号、2009年7月13日申请的日本特愿2009-165140号以及2010年1月27日申请的日本特愿2010-16071号主张优先权,在此引用其内容。背景技术PZT (...
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