技术编号:6991151
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体处理,更具体而言,涉及具有多个宽度的部件的制造。 背景技术已出现形成在鳍片上的垂直配置的晶体管或鳍式场效晶体管(鳍FET)作为用于连续缩放互补金属氧化物半导体(CM0Q技术的有希望的新措施。侧壁间隔物图像移转 (SIT)是一种超越光刻技术的印刷能力、用于形成窄鳍片的技术。常规SIT方法产生具有遍及芯片的相同宽度的鳍片。然而一些应用需要在同一芯片上有不同的宽度的鳍片。例如, 在同一芯片上的各种鳍片FET器件可能需要不同的鳍片宽度以用于不同的阈...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。