功率半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6992759

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该发明涉及一种碳化硅半导体装置等功率半导体器件。背景技术在功率半导体器件中,已知有如下结构(例如,专利文献I)能够将电流检测用元件配置在同一衬底、并根据过电流检测来切断元件以保护元件。在专利文献I中记载有如下结构在将电流检测元件配置于同一衬底的IGBT (Insulated Gate BipolarTransistor 绝缘栅双极晶体管)等半导体器件的电流检测元件的电流检测用键合焊盘的下部形成了与基底区相同的P型区。另外,在专利文献2所述的由功率纵型金属-...
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