技术编号:6996856
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体设备制造领域内,一种与普通的硅片传输机器人相比较,T轴旋转角度更大、适应集成度更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。背景技术一般说来,国内使用的半导体硅片传输机器人T轴的旋转角度范围在600°左右, 最大的也不超过700°,即从T轴的零位算起,机械手臂可向左或向右各旋转300°,最大不超过350°的范围,超过此范围,即被T轴旋转硬限位所限制。随着半导体制造业的不断进步,生产线的集成度越来越高,要求在同一工位上所完成的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。