专利名称：一种t轴旋转限位结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及在半导体设备制造领域内，一种与普通的硅片传输机器人相比较，T轴旋转角度更大、适应集成度更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
背景技术：
一般说来，国内使用的半导体硅片传输机器人T轴的旋转角度范围在600°左右， 最大的也不超过700°，即从T轴的零位算起，机械手臂可向左或向右各旋转300°，最大不超过350°的范围，超过此范围，即被T轴旋转硬限位所限制。随着半导体制造业的不断进步，生产线的集成度越来越高，要求在同一工位上所完成的工步越来越多，工步的分布角度越来越广，这就要求T轴的可旋转角度越来越大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构合理，T轴旋转角度大于1000°的T轴旋转限位机构。即从T轴的零位算起，机械手臂可向左或向右各旋转500°。本发明的发明目的是这样实现的一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构，包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合 4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12。通过采用二级拨榫拨盘旋转限位机构，得到大于1000°的可旋转角度。本发明一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构的结构特点为T轴限位上联接盘1的沉孔内，装有一级拨榫机构组合2 ；—级旋转限位拨盘3的沉孔内，装有二级拨榫机构组合4 ；上表面开有圆周为330°的限位拨盘槽；旋转轴7轴肩上部装有下轴承8、轴承隔套6、上轴承5 ；、二级旋转限位拨盘9的上表面开有圆周为340°的限位拨盘槽，外侧设有20°的限位凸缘；限位套10的外侧圆柱面上，通过联接螺纹钉12装有限位块11。定位套10安装有机体上固定；二级旋转限位拨盘9的内孔与下轴承8配合并安装到位；一级旋转限位拨盘3的内孔与上轴承5配合安装到位，并使二级拨榫机构组合4的拨榫进入至二级旋转限位拨盘9的限位拨盘槽内；T轴限位上联接盘1的内孔，与旋转轴7的上部轴径相配合安装到位，并使一级拨榫机构组合2的拨榫进入至一级旋转限位拨盘3的限位拨盘槽内；最后将装配后的机构通过旋转轴7的下端轴径，安装在限位套10的内孔。具体方法为1、将下轴承5以“热装法”装入旋转轴7的轴径相应部位，并压紧到位。2、将二级旋转限位拨盘9以“热装法”装入下轴承8外环轴径的相应部位，并压紧到位。3、将轴承隔套6套入旋转轴7，靠紧下轴承8内环。4、将上轴承5以“热装法”装入旋转轴7轴径的相应部位，紧贴轴承隔套压紧到位。5、先将二级拨榫机构组合4安装在一级旋转限位拨盘3的相应孔内并拧紧紧固螺钉。再将一级旋转限位拨盘3以“热装法”装入上轴承5外环的相应部位，并注意对正二级拨榫机构组合4与二级旋转限位拨盘槽的位置，压紧到位。6、先将一级拨榫机构组合2安装在T轴限位上联接盘1的相应孔内并拧紧紧固螺钉，再将τ轴限位上联接盘1安装在旋转轴7上方的相应轴径上，并注意对正一级拨榫机构组合2与一级旋转限位拨盘槽的位置，压紧到位。7、先将限位块11以联接螺钉12安装在限位套10上，再将限位套10安装在旋转轴7下方的相应轴径上，压紧到位。完成以上装配后，用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘，直到转不动(限位) 为止。此时，再逆时针转动T轴限位上联接盘，可以看到，当T轴限位上联接盘旋转330° 时，一级拨榫机构组合带动一级旋转限位拨盘开始旋转；再逆时针旋转340°后，二级拨榫机构组合带动二级旋转限位拨盘开始旋转；继续逆时针旋转340°后，二级旋转限位拨盘侧面的限位凸缘被限位套上的限位块阻挡，达到另一侧的限位位置。此时T轴限位机构旋转的总角度为330° +；340° +340° = 1010°。本发明一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构，具有如下优点1、本发明属于应用二级拨榫机构组合的纯机械结构，原理简单，作用可靠。2、在装配过程中，只要在相关的T轴零件上作出相应的装配标记，即可保证零位的一致性，装配过程中及装配后无需调整。3、体积小巧，整个体积与现有结构相比，在高度方向不大于10mm，在长度方向和宽度方向与现有结构相同。
图1为旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构俯视图，图2为旋转角度大于 1000°的T轴旋转限位结构主剖视图，图3为旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构三维立体图。在附图中，具体数字表示1-T轴限位上联接盘、2-—级拨榫机构组合、3-—级旋转限位拨盘、4- 二级拨榫机构组合、5-上轴承、6-轴承隔套、7-旋转轴、8-下轴承、9- 二级旋转限位拨盘、10-限位套、11-限位块、12-联接螺钉等。
具体实施例方式结合附图对本发明作进一步说明参照附图所示，一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。将下轴承8以热装法套入旋转轴7的相应部位，压紧到位，使轴承温度8降至室温。将二级旋转限位拨盘9以热装法，套入下轴承8外环的相应部位，压紧到位，使二级旋转限位拨盘9的温度降至室温。将轴承隔套6套入旋转轴7，靠紧下轴承8内环。将上轴承5以热装法，套入旋转轴7的相应部位，紧贴轴承隔套6压紧到位，使上轴承5温度降至室温。先将二级拨榫机构组合4安装在一级旋转限位拨盘3的相应孔内并拧紧紧固螺钉。再将一级旋转限位拨盘3以热装法，对正二级拨榫机构组合4与二级旋转限位拨盘9的限位槽位置，趁热套入上轴承5外环的相应部位，压紧到位，使一级旋转限位拨盘3的温度降至室温。先将一级拨榫机构组合2安装在T轴限位上联接盘1的相应孔内并拧紧紧固螺钉，再将T轴限位上联接盘1安装在旋转轴7的上方，并注意对正一级拨榫机构组合2与一级旋转限位拨盘3的限位槽的位置。先将限位块11以联接螺钉12安装在限位套10上，再将限位套10安装在旋转轴7的下方。完成以上装配后，用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘1，直到转不动(限位)为止。此时，再逆时针转动T轴限位上联接盘1，可以看到，当T轴限位上联接盘 1旋转了 330°时，一级拨榫机构组合2带动一级旋转限位拨盘3开始旋转；再逆时针旋转 340°后，二级拨榫机构组合4带动二级旋转限位拨盘9开始旋转；继续逆时针旋转340° 后，二级旋转限位拨盘9侧面的限位凸缘被限位套10上的限位块11阻挡，达到另一侧的限位位置。此时T轴限位机构旋转的总角度为330° +340° +340° =1010°。
权利要求
1.T轴旋转限位机构，用在硅片传输机器人中，旋转角度大于1000°，包括T轴限位上联接盘(1)、一级拨榫机构组合O)、一级旋转限位拨盘(3)、二级拨榫机构组合、上轴承(5)、轴承隔套(6)、旋转轴(7)、下轴承(8)、二级旋转限位拨盘(9)、限位套(10)、限位块 (11)、联接螺钉(12)等；其特征在于所述T轴限位上联接盘(1)的沉孔内，装有一级拨榫机构组合O)；所述一级旋转限位拨盘(3)的沉孔内，装有二级拨榫机构组合G)，上表面开有圆周为330°的限位拨盘槽；所述旋转轴(7)轴肩上部装有下轴承(8)、轴承隔套(6)、 上轴承(5)；所述二级旋转限位拨盘(9)的上表面开有圆周为340°的限位拨盘槽，外侧设有20°的限位凸缘；所述限位套(10)的外侧圆柱面上，通过联接螺纹钉(1 装有限位块 (11)。所述定位套(10)安装在机体上固定；所述二级旋转限位拨盘(9)的内孔与下轴承 ⑶配合并安装到位；所述一级旋转限位拨盘⑶的内孔与上轴承(5)配合安装到位，并使二级拨榫机构组合(4)的拨榫进入至二级旋转限位拨盘(9)的限位拨盘槽内；所述T轴限位上联接盘(1)的内孔，与旋转轴(7)的上部轴径相配合安装到位，并使一级拨榫机构组合 (2)的拨榫进入至一级旋转限位拨盘(3)的限位拨盘槽内；将所述装配后的机构通过旋转轴⑵的下端轴径，安装在限位套(10)的内孔。所述结构中，用手以顺时针方向转动T轴限位上联接盘(1)，直到转不动(限位)为止；此时，再逆时针转动T轴限位上联接盘(1)，可以看到，当T轴限位上联接盘(1)旋转了 330°时，一级拨榫机构组合( 带动一级旋转限位拨盘C3)开始旋转；再逆时针旋转340°后，二级拨榫机构组合(4)带动二级旋转限位拨盘(9)开始旋转；继续逆时针旋转340°后，二级旋转限位拨盘(9)侧面的限位凸缘被限位套(10)上的限位块(11)阻挡，达到另一侧限位位置；此时T轴限位机构旋转的总角度为 330° +340° +340° = 1010° 。
2.根据权利要求1所述的T轴旋转限位机构，其特征在于所述机构应用二级拨榫机构组合的机械结构，利用两个拨榫机构组合和两个旋转拨盘限位槽，扩大了 T轴旋转限位机构的旋转角度。
全文摘要
一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
文档编号H01L21/677GK102290360SQ20111006277
公开日2011年12月21日 申请日期2011年3月16日 优先权日2011年3月16日
发明者刘延杰, 吴明月, 孙立宁, 荣伟彬 申请人:哈尔滨工业大学