一种柔性电子器件薄膜晶体管的制备方法技术资料下载

技术编号:6996886

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本发明属于柔性电子器件制造,特别涉及一种柔性电子器件薄膜晶体管的溶液化制造方法。背景技术基于薄膜晶体管(TFT)的玻璃平板基或柔性薄膜基的电子系统不断趋向大面积集成,尺寸达到或超过1米,形成所谓的柔性电子系统,其突出特点为成本低、重量轻、形状薄、有良好的柔韧性,为了方便携带,这些器件经常需要卷曲。然而,常规电子器件是由硅晶片形成的半导体芯片,自身无法实现弯曲,在实际使用过程中容易损坏。以大面积柔性薄膜为基板构造有机或无机电子器件,被视为电子系统未来发展的动...
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