技术编号:6998659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及水平关节型机器人(articulated robot),并且涉及具有水平关节型机器人的基板传送系统,该水平关节型机器人用于半导体制造装置或液晶生产装置以传送诸如半导体晶片或者液晶玻璃的基板。背景技术在半导体制造装置、液晶生产装置、曝光装置和基板检查装置(下文中统称为“半导体制造装置”)中,水平关节型传送机器人广泛用于传送诸如半导体晶片或者液晶玻璃的基板。水平关节型机器人包括机身、与机身多级连接的多个手臂和设置在手臂末端的叉状物(fork)。基板设...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。