专利名称：水平关节型机器人和基板传送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及水平关节型机器人(articulated robot)，并且涉及具有水平关节型机器人的基板传送系统，该水平关节型机器人用于半导体制造装置或液晶生产装置以传送诸如半导体晶片或者液晶玻璃的基板。
背景技术：
在半导体制造装置、液晶生产装置、曝光装置和基板检查装置(下文中统称为“半导体制造装置”)中，水平关节型传送机器人广泛用于传送诸如半导体晶片或者液晶玻璃的基板。水平关节型机器人包括机身、与机身多级连接的多个手臂和设置在手臂末端的叉状物(fork)。基板设置在叉状物上。手臂和叉状物被配置为相对旋转。通过旋转手臂和叉状物，将基板从一个期望位置传送到另一个期望位置。在常规的水平关节型机器人中，用于驱动手臂和叉状物的作为力源的电机和减速器容纳在机身内。电机的转矩通过传动机构(例如滑轮或传送带)传送到对应的手臂或叉状物(参照例如日本专利申请未审公开JP2-M075A)。其中如上所述的所有电机容纳在机身内的配置可以简化手臂的内部结构，并且因此有助于使手臂更小和更细。如果手臂变得紧凑，则可以增大它们在有限的狭小空间内(例如半导体制造装置的内部)的操作范围。但是，通过上述配置，由于电机和驱动目标之间的距离增大，诸如传送带等的传动机构变得更大。这使得难以精确驱动手臂和叉状物，反过来削弱了手臂和叉状物的可操作性。因此，前述配置不适用于用在最新的、需要以高精确度传送基板的半导体制造装置中。 这种配置的另一个问题在于机身的内部结构变得复杂并且传动机构随着其数量的增加变得很长。作为这些问题的解决方法，已尝试将电机和减速器设置在手臂上或者手臂内部，从而简化传动机构并提高可操作性(参照例如JP2008-137115A、JP1-240288A和 JP2006-289555A)。通过将电机和减速器设置在手臂上或者手臂内部的配置，电机和驱动目标之间的距离变小。与将所有电机设置在机身内的配置相比，这有助于提高手臂和叉状物的可操作性。但是，由于电机和减速器设置在手臂上或者手臂内部，上述配置具有的问题在于手臂变得更大并且用于驱动离机身最近的手臂的电机缺乏能量，因此削弱了可操作性。此外，需要增加用于半导体制造装置的传送机器人每单位小时可以传送的基板数量。为了增加机器人传送的基板数量，已提出在一组手臂中提供多个叉状物(参照例如JP2002-184834A)。通常的，用于用来固定基板所使用的流体的管子以及用于保证精确固定该基板所使用的传感器的电缆被连接至叉状物。管子和电缆通过手臂内部从机身延伸到各自的叉状物。因此，手臂需要具有用于适当处理连接到叉状物的管子和电缆的空间以及用于容纳上述电机和传动机构的空间。这是增大手臂尺寸的原因之一(参照例如 JP2007-237342A)。从上面的描述中可明显看出，特别是在半导体制造装置中使用的传送机器人的手臂中需要可操作性和紧凑度。因此，到目前为止，已进行了大量努力以改进手臂的形状和配置。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供了一种水平关节型传送机器人及具有该水平关节型传送机器人的基板传送系统，该水平关节型传送机器人的手臂厚度和尺寸减小而可操作性提
尚ο根据本发明的一方面，提供了一种用于传送基板的水平关节型机器人。该机器人包括机身；第一手臂，所述第一手臂包括基端部分和梢端部分，所述第一手臂的基端部分由所述机身支撑，能够绕着第一接合点旋转；第二手臂，所述第二手臂包括基端部分和梢端部分，所述第二手臂的基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑，能够绕着第二接合点旋转；以及叉状物，所述叉状物用于把持所述基板，所述叉状物包括基端部分，所述基端部分由所述第二手臂的梢端部分所支撑，能够绕着第三接合点旋转。所述第一手臂包括在所述第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，所述第一增大部分的上表面被设置为比所述第一手臂的基端部分的上表面高。所述第二手臂包括在所述第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，所述第二增大部分的下表面被设置为比所述第二手臂的基端部分的下表面低。 所述第一增大部分和所述第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。所述机器人还可以包括第二手臂驱动电机，所述第二手臂驱动电机被设置在所述机身内以作为用于使所述第二手臂旋转的驱动力源；第一连接滑轮，所述第一连接滑轮容纳在所述第一手臂内并且被配置为由所述第二手臂驱动电机进行旋转；第一传送带，所述第一传送带缠绕所述第一连接滑轮；第二手臂驱动减速器输入滑轮，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮被配置为通过所述第一传送带与所述第一连接滑轮一起旋转；第二手臂驱动减速器，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮的旋转被输入到所述第二手臂驱动减速器； 第二手臂驱动减速器输出滑轮，所述第二手臂驱动减速器输出滑轮被提供至所述第二手臂驱动减速器的输出轴；第二传送带，所述第二传送带缠绕所述第二手臂驱动减速器输出滑轮；以及第二连接滑轮，所述第二连接滑轮连接所述第二手臂的基端部分并且被配置为通过所述第二传送带与所述第二手臂驱动减速器输出滑轮一起旋转。所述第二手臂驱动减速器输入滑轮、所述第二手臂驱动减速器、所述第二手臂驱动减速器输出滑轮、所述第二传送带和所述第二连接滑轮可以容纳在所述第一增大部分内。所述第一连接滑轮与所述第二手臂驱动减速器输入滑轮之间的距离可以大于所述第二手臂驱动减速器输出滑轮与所述第二连接滑轮之间的距离。所述第二手臂驱动减速器输入滑轮、所述第二手臂驱动减速器的输出轴和所述第二手臂驱动减速器输出滑轮可以被设置为彼此同轴的关系。所述第二手臂驱动减速器输出滑轮可以形成为杯形以包围所述第二手臂驱动减速器并且包括用于覆盖所述第二手臂驱动减速器的外周表面的圆柱形部分，所述圆柱形部分具有与所述第二传送带啮合的带齿。所述第一传送带的宽度可以小于所述第二传送带的宽度。所述机器人还可以包括叉状物驱动电机，所述叉状物驱动电机容纳在所述第二连接滑轮内；叉状物驱动滑轮，所述叉状物驱动滑轮容纳在所述第二手臂内并且被配置为由所述叉状物驱动电机旋转；叉状物驱动输入传送带，所述叉状物驱动输入传送带缠绕所述叉状物驱动滑轮；叉状物驱动减速器输入滑轮，所述叉状物驱动减速器输入滑轮被配置为通过所述叉状物驱动输入传送带与所述叉状物驱动滑轮一起旋转；叉状物驱动减速器， 所述叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述叉状物驱动减速器；叉状物驱动减速器输出滑轮，所述叉状物驱动减速器输出滑轮被提供至所述叉状物驱动减速器的输出轴； 叉状物驱动输出传送带，所述叉状物驱动输出传送带缠绕所述叉状物驱动减速器输出滑轮；以及第三连接滑轮，所述第三连接滑轮连接所述叉状物的基端部分并且被配置为通过所述叉状物驱动输出传送带与所述叉状物驱动减速器输出滑轮一起旋转。所述叉状物驱动减速器输入滑轮、所述叉状物驱动减速器、所述叉状物驱动减速器输出滑轮、所述叉状物驱动输出传送带和所述第三连接滑轮可以容纳在所述第二增大部分内。所述叉状物驱动滑轮与所述叉状物驱动减速器输入滑轮之间的距离可以大于所述叉状物驱动减速器输出滑轮与所述第三连接滑轮之间的距离。所述叉状物驱动输入传送带的宽度可以小于所述叉状物驱动输出传送带的宽度。所述叉状物可以包括绕着所述第三接合点独立旋转的第一叉状物和第二叉状物， 并且所述机器人可以还包括第一叉状物驱动电机和第二叉状物驱动电机，所述第一叉状物驱动电机和所述第二叉状物驱动电机容纳在所述第二连接滑轮内用于分别驱动所述第一叉状物和所述第二叉状物；第一叉状物驱动滑轮和第二叉状物驱动滑轮，所述第一叉状物驱动滑轮和所述第二叉状物驱动滑轮被配置为分别由所述第一叉状物驱动电机和所述第二叉状物驱动电机进行旋转；第一叉状物驱动输入传送带和第二叉状物驱动输入传送带，所述第一叉状物驱动输入传送带和所述第二叉状物驱动输入传送带分别缠绕所述第一叉状物驱动滑轮和所述第二叉状物驱动滑轮；第一叉状物驱动减速器输入滑轮，所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮被配置为通过所述第一叉状物驱动输入传送带与所述第一叉状物驱动滑轮共同旋转；第二叉状物驱动减速器输入滑轮，所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮被配置为通过所述第二叉状物驱动输入传送带与所述第二叉状物驱动滑轮一起旋转；第一叉状物驱动减速器，所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述第一叉状物驱动减速器；第二叉状物驱动减速器，所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述第二叉状物驱动减速器；第一叉状物驱动减速器输出滑轮，所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮被设置在所述第一叉状物驱动减速器的输出轴中；第二叉状物驱动减速器输出滑轮，所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮被设置在所述第二叉状物驱动减速器的输出轴中；第一叉状物驱动输出传送带，所述第一叉状物驱动输出传送带缠绕所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮；第二叉状物驱动输出传送带，所述第二叉状物驱动输出传送带缠绕所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮；第一叉状物驱动第三连接滑轮，所述第一叉状物驱动第三连接滑轮连接所述第一叉状物的基端部分并且被配置为通过所述第一叉状物驱动输出传送带与所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮一起旋转；以及第二叉状物驱动第三连接滑轮，所述第二叉状物驱动第三连接滑轮连接所述第二叉状物的基端部分并且被配置为通过所述第二叉状物驱动输出传送带与所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮一起旋转，所述第一叉状物驱动滑轮、所述第二叉状物驱动滑轮、所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮和所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮可以至少部分彼此交叠。在平面图中看时，所述第二叉状物驱动滑轮、所述第二叉状物驱动输入传送带和所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮可以设置在由所述第一叉状物驱动滑轮、所述第一叉状物驱动输入传送带和所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮包围的空间中。
所述机器人还可以包括叉状物电缆，所述叉状物电缆被设置为通过所述第一手臂和所述第二手臂从所述机身延伸到所述叉状物；以及缠绕单元，所述缠绕单元被设置在所述叉状物的基端部分。所述第二手臂可以包括在其中提供的电缆释放空间，在平面图中看时所述电缆释放空间被限定在在所述叉状物驱动滑轮与所述叉状物驱动减速器输入滑轮之间延伸的所述叉状物驱动输入传送带下面；以及电缆通道，所述电缆通道用于互连所述缠绕单元和所述电缆释放空间，所述电缆通道被限定为在所述叉状物驱动减速器的一侧沿着所述第二手臂的纵向方向延伸。所述叉状物电缆可以经由所述电缆释放空间、所述电缆通道和所述缠绕单元延伸至所述叉状物，当所述叉状物在第一方向上绕着所述第三接合点旋转时所述叉状物电缆缠绕所述缠绕单元，当所述叉状物在与所述第一方向相反的第二方向上绕着所述第三接合点旋转时所述叉状物电缆在所述电缆释放空间中松开。所述机器人还可以包括空心圆柱形的第一手臂驱动轴，所述第一手臂驱动轴具有固定到所述第一手臂的上端；以及第一手臂驱动电机，所述第一手臂驱动电机被设置在所述机身内用于使所述第一手臂驱动轴旋转，所述第一手臂驱动轴被设置为容纳所述第二手臂驱动电机。所述机器人还可以包括提升机构，所述提升机构容纳在所述机身内用于提升或降低所述第一手臂驱动轴。根据本发明的另一方面，提供了一种包括所述水平关节型机器人的基板传送系统。利用本发明，通过形成第一增大部分和第二增大部分，可以减少第一手臂和第二手臂的总交叠高度。并且，本发明可以减少第一手臂和第二手臂各自的厚度和尺寸。此外， 本发明能够提高各个手臂的可操作性。
根据结合附图给出的实施方式的如下说明，本发明的目的和特征将变得明显，其中图1是示出了根据本发明实施方式的水平关节型机器人的透视图；图2是示出了具有水平关节型机器人的基板传送系统的侧视图；图3A到图3C是例示在水平关节型机器人中使用的手臂的图示；图4是示出了水平关节型机器人的截面图；图5是示出了在图4中所示的水平关节型机器人中使用的第二手臂的平面图；以及图6A和图6B是描述在图5所示的电缆释放空间中叉状物电缆的运动的部分顶视图。
具体实施例方式将参照构成本发明实施方式的一部分的附图来描述本发明的一种实施方式。图1是示出了根据本发明一种实施方式的水平关节型机器人50的透视图。图2是示出了根据本发明实施方式的具有水平关节型机器人50的基板传送系统45的侧视图。参照图2，水平关节型机器人50安装在例如基板传送系统45中，并且用于传送基板47。基板传送系统45与处理装置49并排安装，处理装置49用于使基板经受例如洗涤、蚀刻、灰化、 化学气相淀积和曝光的处理。基板传送系统45具有在其内设置有水平关节型机器人50的内部空间。风机过滤单元(FFU) 51设置在基板传送系统45的顶部，以保证内部空间充满纯净气体。由于水平关节型机器人50设置在内部空间内，因而需要通过使各个手臂或者整个手臂组装紧凑来扩大其操作范围。匣盒载物台(cassette stage)48设置在基板传送系统45的外壁。匣盒载物台48是用于支持其中包括多个基板47的匣盒46的机构。水平关节型机器人50用于针对匣盒46替换基板47或者在匣盒46与处理装置49 之间传送基板47。图2所示的基板传送系统45仅仅是一个示例。水平关节型机器人50可以安装在半导体制造装置内许多不同的地方，来在期望的位置之间传送基板47。如图1所示，水平关节型机器人50包括用作基座的机身2。第一手臂3被支撑在机身2的顶端部分(top portion)，能够绕着第一接合点31旋转。第二手臂27的基端(hse end)部分被支撑在第一手臂3的梢端(tip end)部分，能够绕着第二接合点32旋转。第一和第二叉状物36和35的基端部分被支撑在第二手臂27的梢端部分，能够绕着第三接合点 33旋转。第一和第二叉状物36和35能够固定基板47。在本实施方式中，水平关节型机器人50包括两个叉状物，即第一和第二叉状物36 和35。两个叉状物36和35可以用在处理装置49中，例如分别传送未处理的基板47和已处理的基板47。两个叉状物36和35的使用有助于增加每单位小时传送的基板47的数量。第一和第二叉状物36和35绕着公共的第三接合点33独立地旋转。并且，第一手臂3和第二手臂27在水平面上独立地旋转。后面将描述用于实现这种旋转的详细配置。通过使第一手臂3、第二手臂27、第一叉状物36和第二叉状物35相对旋转，水平关节型机器人50在期望的位置之间传送放置在两个叉状物36和35上的基板47。图3A到图3C是例示水平关节型机器人的手臂的图。图3A是在图1中X方向观测水平关节型机器人50时可得到的侧视图，示出了从上述方向看时保持在交叠状态的第一手臂3和第二手臂27。图:3B是从图3A下面看时仅示出了第二手臂27的仰视图。图3C 是从图3A上面看时仅示出了第一手臂3的顶视图。在本实施方式的情况下，从第一接合点 31到第二接合点32的第一手臂3的连杆长度(link length)基本上等于从第二接合点32 到第三接合点33的第二手臂27的连杆长度。从图3A中明显地，第一手臂3包括在其梢端部分中形成的第一增大部分43，第一增大部分43的上表面设置为比第一手臂3的基端部分的上表面高。第一增大部分43包括第二接合点32但不包括第一接合点31。第二手臂包括在其梢端部分中形成的第二增大部分44，第二增大部分44的下表面设置为比第二手臂27的基端部分的下表面低。第二增大部分44包括第三接合点33但不包括第二接合点32。第一增大部分43和第二增大部分44 至少横向上部分彼此交叠。也就是说，第一增大部分43和第二增大部分44设置为部分位于相同高度。正如后面将要更详细地陈述的，在本实施方式中，下电缆盖(lower cable cover) 54附接在第二手臂27的下表面。因此，设置第一增大部分43从第一手臂3的基端部分的上表面的突出高度Li，使得第一增大部分43不与下电缆盖M接触。类似地，设置第二增大部分44从第二手臂37的基端部分的下表面的突出高度L2，使得第二增大部分44不与第一手臂3的基端部分的上表面接触。如图:3B和图3C中所示，第一增大部分和第二增大部分43和44成形为在平面上看时不彼此接触。因此，即使第二手臂27相对于第一手臂3绕着第二接合点32旋转，第一和第二增大部分43和44也不可能彼此接触。如下面将要描述的，如上配置的第一和第二增大部分 43和44能够容纳驱动力源和用于驱动第二手臂27、第一叉状物36和第二叉状物35的传动机构。这有助于第一手臂3和第二手臂27的尺寸减小。并且，与其中所有驱动力源和传动机构设置在机身内部的常规配置相比，这有助于提高手臂的可操作性。接着，将详细描述水平关节型机器人50的机身2、第一手臂3和第二手臂27的内部配置。参照图4将首先描述机身2的内部配置，图4是示出了水平关节型机器人50的截面图。在本实施方式中，机身2具有箱形形状。第一手臂驱动电机1设置在机身2内部。必要时，减速器可以附着在第一手臂驱动电机1的输出端部分。第一手臂驱动电机1通过传送带和滑轮使第一手臂驱动轴4旋转。第一手臂驱动轴4的梢端向上突出越过机身2的上表面。第一手臂驱动轴4在其上端固定至第一手臂3的基端部分的下表面。通过这种配置，第一手臂驱动电机1使得第一手臂3绕着第一接合点31旋转。有时的情况是在机身2内部设置提升机构52。提升机构52是用于提升或降低第一手臂驱动轴4的机构。在本实施方式中，提升机构52是包括电机和滚珠螺杆的类型。任何常规提升机构可以用作提升机构52。接着，将参照图4描述第一手臂3的内部配置。作为第二手臂27的驱动力源的第二手臂驱动电机5固定在第一手臂3的基端部分的下表面。上述的第一手臂驱动轴4形成空心圆柱形，以在其上部的内部空间中容纳第二手臂驱动电机5。第二手臂驱动电机5包括设置到机身2内的构架其梢端部分突出到第一手臂3内的旋转轴。第一连接滑轮6固定在第二手臂驱动电机5的旋转轴的梢端部分。因此第一连接滑轮6由第二手臂驱动电机5进行旋转。由于第二手臂驱动电机5的构架基本上容纳在机身2的内部，因此可以减少第一手臂3的基端部分的厚度。此外，由于第二手臂驱动电机5设置在第一手臂驱动轴4的内部，因此第二手臂驱动电机5的旋转轴附近生成的细粉尘不可能泄漏到外面。第一传送带 11缠绕着第一连接滑轮6。第一传送带11伸展至第一手臂3的梢端部分并缠绕第一手臂3内的第二手臂驱动减速器输入滑轮7。因此，第一连接滑轮6和第二手臂驱动减速器输入滑轮7由第一传送带11共同旋转。第二手臂驱动减速器输入滑轮7被设置为低于第二手臂驱动减速器8，使得第二手臂驱动减速器输入滑轮7的旋转可以输入至第二手臂驱动减速器8。通过这种配置，第一连接滑轮6、第二手臂驱动减速器输入滑轮7和第二手臂驱动减速器8设置在第一手臂3中第一手臂3的底部部分。由于第一手臂3可以形成为在其基端部分附近的空间中仅包围第一连接滑轮6和第一传送带11，因此可以减少第一手臂3基端部分的厚度。第二手臂驱动减速器8具有特定的减速比并降低第二手臂驱动减速器输入滑轮7的旋转速度。第二手臂驱动减速器输出滑轮9被设置为覆盖第二手臂驱动减速器8的外周表面和上表面。第二手臂驱动减速器输出滑轮9固定至第二手臂驱动减速器8的输出轴。第二手臂驱动减速器输出滑轮9、第二手臂驱动减速器8的输出轴和第二手臂驱动减速器输入滑轮7设置为彼此同轴的关系。第二手臂驱动减速器输出滑轮9形成为杯状，以包围第二手臂驱动减速器8。在第二手臂驱动减速器输出滑轮9覆盖第二手臂驱动减速器8的外周表面的柱状部分上形成与第二传送带12啮合的带齿。第二传送带12缠绕第二手臂驱动减速器输出滑轮9的柱状部分和第二连接滑轮 10。第二连接滑轮10设置在第一手臂3的梢端部分内并且在其上端固定至第二手臂27的基端的下表面。因此，第二手臂驱动电机5的旋转通过第一连接滑轮6、第一传送带11和第二手臂驱动减速器输入滑轮7输入至第二手臂驱动减速器8。第二手臂驱动减速器8输出低速旋转，通过第二手臂驱动减速器输出滑轮9、第二传送带12和第二连接滑轮10使第二手臂27 旋转。在上述的本实施方式中，第二手臂驱动电机5和第二手臂驱动减速器8设置为彼此相分隔的关系。类似地，第二手臂驱动减速器输出滑轮9和第二连接滑轮10以彼此相分隔的关系设置在第一手臂3内。第一连接滑轮6和第二手臂驱动减速器输入滑轮7之间的距离设置为大于第二手臂驱动减速器输出滑轮9和第二连接滑轮10之间的距离。第一增大部分43形成在第一手臂3的梢端部分中，以在其中容纳第二手臂驱动减速器输入滑轮7、第二手臂驱动减速器8、第二手臂驱动减速器输出滑轮9、第二传送带12和第二连接滑轮10。通过这种配置，第一手臂3的基端部分可以变薄，这是因为第二手臂驱动电机5位于第一手臂3的基端部分附近并且容纳在机身2内部。还可以减少第一增大部分43的突出尺寸，即第一手臂3的梢端部分的厚度，这是因为第二手臂驱动减速器8和第二连接滑轮 10被设置为在第一手臂3的梢端部分内在第一手臂3的纵向方向上彼此分隔。通过将第二手臂驱动减速器输出滑轮9形成为杯形并且按照本实施方式中对其进行设置，第一增大部分43可以形成具有尽可能小的体积。由于第二手臂驱动减速器8设置在第二接合点32附近而第二手臂驱动电机5位于第一手臂3的基端部分附近，第二手臂驱动减速器8的输出轴与第二手臂27的基端部分相邻接。这有助于缩短第二传送带12并且使驱动力源和驱动目标接近。因此，第二传送带 12不大可能削弱第二手臂27的可操作性。在本实施方式中，与第二传送带12相比，第一传送带11的宽度较小。第一连接滑轮6、第一传送带11和第二手臂驱动减速器输入滑轮7以与第二手臂驱动电机5的旋转轴的旋转速率基本上相同的旋转速率旋转。另一方面，第二手臂驱动减速器输出滑轮9、第二连接滑轮10和第二传送带12以由第二手臂驱动减速器8降低后的旋转速率旋转。换句话讲，第一传送带11的长度大于第二传送带12的长度，并且比第二传送带12 运动的更快。因此，第一传送带11的刚度(rigidity)低。相反地，缠绕第二手臂驱动减速器输出滑轮9 (该第二手臂驱动减速器输出滑轮9覆盖第二手臂驱动减速器8)外周表面的第二传送带12比第一传送带11更宽但是长度更小。因此，第二传送带12的刚度高并且能够提高第二手臂27的可操作性。接着，参照图4和图5描述第二手臂27的内部配置。图5是示出了在图4所示的水平关节型机器人50中使用的第二手臂27的顶视图。如图4中所示，第二连接滑轮10形成为圆柱形。第二连接滑轮10上端固定至第二手臂27的基端部分的下表面。第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14设置在第二连接滑轮10内部。第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14分别作为第一叉状物36和第二叉状物35的驱动力源。第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14的构架的下延伸部容纳在第二连接滑轮10内。第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14的构架的上延伸部和旋转轴被设置为突出到第二手臂27的基端部分的内部。第一叉状物驱动滑轮15固定到第一叉状物驱动电机13的旋转轴上。第二叉状物驱动滑轮17固定到第二叉状物驱动电机14的旋转轴上。参照图5，第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14沿着第二手臂27的纵向方向并排设置。第一叉状物驱动滑轮15的滑轮直径大于第二叉状物驱动滑轮17。第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M分别缠绕第一叉状物驱动滑轮15和第二叉状物驱动滑轮17。第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M延伸到第二手臂27的梢端部分。第二叉状物驱动减速器输入滑轮18和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16按顺序设置，第二叉状物驱动减速器输入滑轮18处于更靠近第二接合点32的一侧。第二叉状物驱动输入传送带M和第一叉状物驱动输入传送带23分别缠绕第二叉状物驱动减速器输入滑轮18和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16。第二叉状物驱动减速器输入滑轮18的滑轮直径等于第二叉状物驱动滑轮17的滑轮直径。第一叉状物驱动减速器输入滑轮16的滑轮直径等于第一叉状物驱动滑轮15的滑轮直径。因此，第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M沿着第二手臂27的纵向方向彼此平行延伸。如图4中所示，第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16以及第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18 至少横向上部分彼此交叠。也就是说，第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16，以及第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18部分地设置在相同的高度。在本实施方式中，第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动减速器输入滑轮16、 第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18设置在基本上相同的高度。 参照图5，在平面上看时，第二叉状物驱动滑轮17、第二叉状物驱动输入传送带对和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18设置在由第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动输入传送带23和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16包围的空间中。这些配置有助于第二手臂27 的厚度减少。重新参照图4，第二叉状物驱动减速器四设置在第二叉状物驱动减速器输入滑轮 18下面。第二叉状物驱动减速器输入滑轮18固定至第二叉状物驱动减速器四的输入轴， 使得第二叉状物驱动减速器输入滑轮18的旋转可以输入至第二叉状物驱动减速器四。类似地，第一叉状物驱动减速器30设置在第一叉状物驱动减速器输入滑轮16下面。第一叉状物驱动减速器输入滑轮16固定至第一叉状物驱动减速器30的输入轴，使得第一叉状物驱动减速器输入滑轮16的旋转可以输入至第一叉状物驱动减速器30。第二叉状物驱动减速器输出滑轮21设置在第二叉状物驱动减速器四下面并且固定在第二叉状物驱动减速器四的输出轴上。第一叉状物驱动减速器输出滑轮19设置在第一叉状物驱动减速器30下面并且固定在第一叉状物驱动减速器30的输出轴上。第一叉状物驱动减速器输出滑轮19和第二叉状物驱动减速器输出滑轮21设置在不同的高度，使得与第二叉状物驱动减速器输出滑轮21相比，第一叉状物驱动减速器输出滑轮19在更高的位置旋转。第二叉状物驱动输出传送带沈和第一叉状物驱动输出传送带25分别缠绕第二叉状物驱动减速器输出滑轮21和第一叉状物驱动减速器输出滑轮19。同时，第二叉状物驱动第三连接滑轮22设置在第二手臂27的梢端部分内并且连接至第二叉状物35的基端部分。第二叉状物驱动第三连接滑轮22设置在与第二叉状物驱动减速器输出滑轮21相同的高度。第二叉状物驱动输出传送带沈缠绕第二叉状物驱动第三连接滑轮22和第二叉状物驱动减速器输出滑轮21。类似地，第一叉状物驱动第三连接滑轮20设置在第二手臂27的梢端部分内并且连接至第一叉状物36的基端部分。第一叉状物驱动第三连接滑轮20设置在与第一叉状物驱动减速器输出滑轮19相同的高度。第一叉状物驱动输出传送带25缠绕第一叉状物驱动第三连接滑轮20和第一叉状物驱动减速器输出滑轮19。因此，第二叉状物驱动电机14的旋转通过第二叉状物驱动滑轮17、第二叉状物驱动输入传送带M和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18输入到第二叉状物驱动减速器四。 第二叉状物驱动减速器四通过第二叉状物驱动减速器输出滑轮21、第二叉状物驱动输出传送带沈和第二叉状物驱动第三连接滑轮22输出低速旋转以使第二叉状物35旋转。类似地，第一叉状物驱动电机13的旋转通过第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动输入传送带23和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16输入到第一叉状物驱动减速器30。第一叉状物驱动减速器30通过第一叉状物驱动减速器输出滑轮19、第一叉状物驱动输出传送带25 和第一叉状物驱动第三连接滑轮20输出低速旋转以使第一叉状物36旋转。在上述的本实施方式中，第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14，以及第一叉状物驱动减速器30和第二叉状物驱动减速器四分别以彼此相间隔的关系设置在第二手臂27内。第二叉状物驱动滑轮17与第二叉状物驱动减速器输入滑轮18之间的距离 (或者第一叉状物驱动滑轮15与第一叉状物驱动减速器输入滑轮16之间的距离)被设置为大于第二叉状物驱动减速器输出滑轮21与第二叉状物驱动第三连接滑轮22之间的距离(或者第一叉状物驱动减速器输出滑轮19与第一叉状物驱动第三连接滑轮20之间的距
1 ) O第二增大部分44形成在第二手臂27的梢端部分中，以在其中容纳第二叉状物驱动减速器输入滑轮18、第一叉状物驱动减速器输入滑轮16、第二叉状物驱动减速器四、第一叉状物驱动减速器30、第二叉状物驱动减速器输出滑轮21、第一叉状物驱动减速器输出滑轮19、第一叉状物驱动输出传送带25、第二叉状物驱动输出传送带沈、第一叉状物驱动第三连接滑轮20和第二叉状物驱动第三连接滑轮22。通过这种配置，第二手臂27的基端部分可以变薄，这是因为第一叉状物驱动电机 13和第二叉状物驱动电机14位于第二手臂27的基端部分附近并且因为第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14的构架部分地容纳在第二连接滑轮10内。还可以减小第二增大部分44的突出尺寸，即第二手臂27的梢端部分的厚度，这是因为第二叉状物驱动减速器四和第二叉状物驱动第三连接滑轮22 (或者第一叉状物驱动减速器30和第一叉状物驱动第三连接滑轮20)被设置为在第二手臂27的梢端部分内在第二手臂27的纵向方向上彼此间隔。这可以使得形成具有尽可能小体积的第二增大部分44。
由于第二叉状物驱动减速器四和第一叉状物驱动减速器30设置为接近第三接合点33，同时第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14位于第二手臂27的基端部分附近，因此，第二叉状物驱动减速器四和第一叉状物驱动减速器30的输出轴邻接第二叉状物35和第一叉状物36的基端部分。这有助于缩短第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈并且使驱动力源和驱动目标接近。因此，传送带25和沈不大可能削弱第二叉状物35和第一叉状物36的可操作性。在本实施方式中，第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带 24的宽度小于第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈的宽度。第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动输入传送带23和第一叉状物驱动减速器输入滑轮 16以与第一叉状物驱动电机13的旋转速率基本上相同的旋转速率旋转。类似地，第二叉状物驱动滑轮17、第二叉状物驱动输入传送带M和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18以与第二叉状物驱动电机14的旋转速率基本上相同的旋转速率旋转。另一方面，第二叉状物驱动减速器输出滑轮21、第二叉状物驱动输出传送带沈和第二叉状物驱动第三连接滑轮22以经第二叉状物驱动减速器四降低后的旋转速率旋转。 类似地，第一叉状物驱动减速器输出滑轮19、第一叉状物驱动输出传送带25和第一叉状物驱动第三连接滑轮20以经第一叉状物驱动减速器30降低后的旋转速率旋转。换句话讲， 第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M分别具有比第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈更长的长度，并且比第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈运动得更快。因此，第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M的刚度低。 相反地，第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈分别比第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M具有更大的宽度但更小的长度。因此，第一叉状物驱动输出传送带25和第二叉状物驱动输出传送带沈的刚度高并且能够提高第一叉状物36和第二叉状物35的可操作性。在本实施方式中，其中在第二手臂27的梢端部分提供了多个叉状物，第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16，以及和第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18至少横向上彼此部分交叠。也就是说，第一叉状物驱动滑轮 15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16，以及和第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18部分地设置在相同的高度。在平面上看时，第二叉状物驱动滑轮17、第二叉状物驱动输入传送带M和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18设置在由第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动输入传送带23和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16包围的空间中。因此，即使第二手臂27具有多个叉状物，也可以抑制第二手臂27厚度的增加。现在将详细描述设置为延伸到第二叉状物35或第一叉状物36的叉状物电缆34。 在本实施方式中，第二叉状物35和第一叉状物36通过吸引力固定基板47，但它们有时利用摩擦力固定基板47。另选地，第二叉状物35和第一叉状物36b可以通过机械的方式固定基板47。通常的情况是，第二叉状物35和第一叉状物36各自具有用于检测存在或不存在基板47的传感器或者用于检测包括在匣盒46中的基板47的位置的传感器。鉴于此，有必要将用于生成吸引力或者夹持力的气体供应管、电线和其他管线安装为通过第一手臂3和第二手臂27的内部空间从机身2延伸到第二叉状物35和第一叉状物36中的各个叉状物。为了描述方便，他们将统称为“叉状物电缆34”。由于叉状物电缆 34被设置为延伸到第二叉状物35和第一叉状物36中的各个叉状物，即使当第二叉状物35 或第一叉状物36绕着第三接合点33旋转时，第二叉状物35或第一叉状物36的运动也不应当受叉状物电缆34的阻碍。此外，叉状物电缆34不应当阻碍第二手臂内存在的器件的操作。在本实施方式中，假定第二叉状物35和第一叉状物36需要叉状物电缆34。在这种假设下，将描述叉状物电缆；34的设置配置，通过这种配置，在保持手臂尺寸小的同时可以正确地设置叉状物电缆34。但是有可能本质上无需设置叉状物电缆34。在这种情况下， 不必使用下面将描述的叉状物电缆34的设置配置。将在下文参照图4和图5描述本实施方式中使用的叉状物电缆34的设置配置。叉状物电缆34被设置为通过第一手臂3和第二手臂27的内部空间从机身2延伸到第二叉状物35和第一叉状物36中的各个叉状物。叉状物电缆34的基端部分连接到水平关节型机器人50的在机身2内部或外部提供的控制器单元(未示出)或者流体源(未示出)。叉状物电缆34首先被设置为通过第一手臂驱动轴4延伸至第一手臂3。在第一手臂3内，叉状物电缆34沿着第一传送带11延伸并向第一手臂3的梢端部分延伸。在第一手臂3的梢端部分，叉状物电缆34通过第二连接滑轮10的内部空间延伸到第二手臂27 内。在第一叉状物驱动电机13和第二叉状物驱动电机14附近，叉状物电缆34通过第二手臂27的内底表面延伸到第二手臂27的下表面。在第二手臂27的下表面上提供的下电缆盖M封装沿着第二手臂27的下表面延伸的叉状物电缆34。下电缆盖M设置在第二手臂27的下表面上、相对于第二增大部分44处于第二手臂27的基端部分一侧，并且位于第二增大部分44与第二接合点32之间。容纳在下电缆盖 54内的叉状物电缆34通过下电缆盖M的内部空间朝着第二手臂27的梢端部分延伸。接着，在接近第二叉状物驱动减速器四和第一叉状物驱动减速器30的位置，叉状物电缆34 延伸回到在第二手臂27内部限定的电缆释放空间41。电缆释放空间41限定在第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16之间延伸的第一叉状物驱动输入传送带23下面以及在第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18之间延伸的第二叉状物驱动输入传送带M下面。用于覆盖叉状物电缆34的隔板观设置在电缆释放空间41上面，即直接在第一叉状物驱动输入传送带23和第二叉状物驱动输入传送带M下面。提供隔板观的原因是为了当叉状物电缆34以下述方式运动时，避免叉状物电缆 34与第一叉状物驱动输入传送带23或第二叉状物驱动输入传送带M接触。叉状物电缆 34设置在电缆释放空间41内，使得它们可以相对于第二叉状物驱动减速器四或第一叉状物驱动减速器30位于第二手臂27的基端部分一侧。沿着电缆释放空间41的外围设置多个滚动部件53。在本实施方式中，各个滚动部件53包括具有垂直旋转轴的滚轴。当叉状物电缆34 以下述方式运动时，滚动部件53与叉状物电缆34接触并进行滚动运动，从而便于叉状物电缆34的运动。延伸到电缆释放空间41内的叉状物电缆34被设置为在电缆释放空间41中沿着电缆释放空间41的外围延伸通过第二手臂27的基端侧，从而形成了回路，而没有固定在电缆释放空间41中。接着，叉状物电缆34沿着第二手臂27的纵向方向朝第二手臂27 的梢端部分延伸。在第二手臂27内第二叉状物驱动减速器四和第一叉状物驱动减速器30的一侧， 电缆通道42被限定为沿着第二手臂27的纵向方向延伸。叉状物电缆34通过电缆通道42 朝第三接合点33延伸。沿着电缆通道42也设置了多个滚动部件53。在第二叉状物35和第一叉状物36的各自的基端部分中提供缠绕单元40。叉状物电缆34缠绕在各个缠绕单元40上并且与在各个第二叉状物35和第一叉状物36中提供的吸引机构(未示出)或传感器(未示出)连接。在附图中，为了方便说明仅示出了一个缠绕单元40。将参照图6A和图6B以第一叉状物36为例描述如上设置和配置的叉状物电缆34 的运动，图6A和图6B是描述在图5所示的电缆释放空间41中叉状物电缆34的运动的部分顶视图。图6B和图6A分别描述了在第一叉状物36以一个(第一)方向和另一个(第二)方向旋转时，电缆释放空间41中叉状物电缆34的状态。在本实施方式中，如图6A所示，叉状物电缆34包括多个扁平管或电缆，例如扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39。扁平管37是用于第一叉状物36的一束扁平捆绑的流体管。扁平电缆38是连接到在第一叉状物36中提供的器件的一束扁平捆绑的电线。扁平电缆39是连接到在第一叉状物36中提供的器件的另一束扁平捆绑的电线。扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39至少在电缆释放空间41中没有捆绑在一起，并且被设置为当第一叉状物36位于第一叉状物36相对于第二手臂27的旋转运动范围的中间位置时，扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39之间产生间隙。如果第一叉状物36 在图6B所示的第一方向上绕着第三接合点33旋转，则叉状物电缆34通过电缆通道42向前运动并且缠绕缠绕单元40。此时，扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39保持无间隙地彼此接触并且在电缆释放空间41中结合在一起形成相对小的环形。如果第一叉状物36在图6A所示的第二方向上绕着第三接合点33旋转，则缠绕缠绕单元40的叉状物电缆34通过电缆通道42向后运动并且在电缆释放空间41中松开。此时，扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39在电缆释放空间41内向外扩张，同时形成的间隙S大于当第一叉状物36位于中间位置时形成的间隙。通过使得在扁平管37、 扁平电缆38和扁平电缆39之间形成间隙，可以避免扁平管37、扁平电缆38和扁平电缆39 相互缠在一起，这保证了叉状物电缆34平稳的运动。用于第二叉状物35的叉状物电缆34的运动与用于第一叉状物36的叉状物电缆 34的运动实质上相同。因此，将省略冗余的描述。通过上述本实施方式的叉状物电缆34的设置配置，在第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16之间延伸的第一叉状物驱动输入传送带23下面以及在第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18之间延伸的第二叉状物驱动输入传送带M下面限定了电缆释放空间41。这使得可以在不阻碍第二叉状物35和第一叉状物36的操作的同时尽可能地减少第二手臂27的厚度的情况下，设置叉状物电缆34。在本实施方式中，其中在第二手臂27的梢端部分提供多个叉状物，例如第二叉状物35和第一叉状物36，第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16，以及第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18至少横向上部分彼此交叠。也就是说，第一叉状物驱动滑轮15和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16，以及第二叉状物驱动滑轮17和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18部分地设置在相同的高度。此外，第二叉状物驱动滑轮17、第二叉状物驱动输入传送带M和第二叉状物驱动减速器输入滑轮18设置在由第一叉状物驱动滑轮15、第一叉状物驱动输入传送带23和第一叉状物驱动减速器输入滑轮16包围的空间中。因此，即使电缆释放空间41限定在第二手臂27中，也可以减少第二手臂27的厚度。如上所述，在本发明中，通过形成第一增大部分43和第二增大部分44，可以减少第一手臂3和第二手臂27的总高度。并且，这里公开的配置有助于减少第一手臂3和第二手臂27各自的厚度和尺寸。此外，通过提高各个手臂的可操作性可以改进水平关节型机器人50中手臂的定位精确度。应当理解，这里公开的实施方式在所有方面都不是限制性的，而是说明性的。本发明应当由权利要求限定，而不是由实施方式的上述描述限定。本发明应当理解为包括与权利要求的含义和范围等同的所有变化或修改。
权利要求
1.一种用于传送基板的水平关节型机器人，所述机器人包括 机身；第一手臂，所述第一手臂包括基端部分和梢端部分，所述第一手臂的基端部分由所述机身支撑为能够绕着第一接合点旋转；第二手臂，所述第二手臂包括基端部分和梢端部分，所述第二手臂的基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑为能够绕着第二接合点旋转；以及叉状物，所述叉状物用于把持所述基板，所述叉状物包括由所述第二手臂的梢端部分支撑为能够绕着第三接合点旋转的基端部分，其中所述第一手臂包括在所述第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，所述第一增大部分的上表面被设置为比所述第一手臂的基端部分的上表面高，其中所述第二手臂包括在所述第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，所述第二增大部分的下表面被设置为比所述第二手臂的基端部分的下表面低，并且其中所述第一增大部分和所述第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。
2.根据权利要求1所述的机器人，所述机器人还包括第二手臂驱动电机，所述第二手臂驱动电机被设置在所述机身内，作为用于使所述第二手臂旋转的驱动力源；第一连接滑轮，所述第一连接滑轮容纳在所述第一手臂内并且由所述第二手臂驱动电机进行旋转；第一传送带，所述第一传送带缠绕所述第一连接滑轮；第二手臂驱动减速器输入滑轮，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮通过所述第一传送带与所述第一连接滑轮一起旋转；第二手臂驱动减速器，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮的旋转被输入到所述第二手臂驱动减速器；第二手臂驱动减速器输出滑轮，所述第二手臂驱动减速器输出滑轮被设置至所述第二手臂驱动减速器的输出轴；第二传送带，所述第二传送带缠绕所述第二手臂驱动减速器输出滑轮；以及第二连接滑轮，所述第二连接滑轮连接到所述第二手臂的基端部分并且通过所述第二传送带与所述第二手臂驱动减速器输出滑轮一起旋转；其中，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮、所述第二手臂驱动减速器、所述第二手臂驱动减速器输出滑轮、所述第二传送带和所述第二连接滑轮容纳在所述第一增大部分内。
3.根据权利要求2所述的机器人，其中所述第一连接滑轮与所述第二手臂驱动减速器输入滑轮之间的距离大于所述第二手臂驱动减速器输出滑轮与所述第二连接滑轮之间的距离。
4.根据权利要求2所述的机器人，其中所述第二手臂驱动减速器输入滑轮、所述第二手臂驱动减速器的输出轴和所述第二手臂驱动减速器输出滑轮被设置为彼此同轴的关系， 以及其中所述第二手臂驱动减速器输出滑轮形成为杯形以包围所述第二手臂驱动减速器并且包括用于覆盖所述第二手臂驱动减速器的外周表面的圆柱形部分，所述圆柱形部分具有与所述第二传送带啮合的带齿。
5.根据权利要求2所述的机器人，其中所述第一传送带的宽度比所述第二传送带的宽度小。
6.根据权利要求2所述的机器人，所述机器人还包括叉状物驱动电机，所述叉状物驱动电机容纳在所述第二连接滑轮内； 叉状物驱动滑轮，所述叉状物驱动滑轮容纳在所述第二手臂内并且由所述叉状物驱动电机旋转；叉状物驱动输入传送带，所述叉状物驱动输入传送带缠绕所述叉状物驱动滑轮； 叉状物驱动减速器输入滑轮，所述叉状物驱动减速器输入滑轮被配置为通过所述叉状物驱动输入传送带与所述叉状物驱动滑轮一起旋转；叉状物驱动减速器，所述叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述叉状物驱动减速器；叉状物驱动减速器输出滑轮，所述叉状物驱动减速器输出滑轮设置至所述叉状物驱动减速器的输出轴；叉状物驱动输出传送带，所述叉状物驱动输出传送带缠绕所述叉状物驱动减速器输出滑轮；以及第三连接滑轮，所述第三连接滑轮连接到所述叉状物的基端部分并且通过所述叉状物驱动输出传送带与所述叉状物驱动减速器输出滑轮一起旋转，其中所述叉状物驱动减速器输入滑轮、所述叉状物驱动减速器、所述叉状物驱动减速器输出滑轮、所述叉状物驱动输出传送带和所述第三连接滑轮容纳在所述第二增大部分内。
7.根据权利要求6所述的机器人，其中所述叉状物驱动滑轮与所述叉状物驱动减速器输入滑轮之间的距离大于所述叉状物驱动减速器输出滑轮与所述第三连接滑轮之间的距1 O
8.根据权利要求6所述的机器人，其中所述叉状物驱动输入传送带的宽度小于所述叉状物驱动输出传送带的宽度。
9.根据权利要求2所述的机器人，其中所述叉状物包括绕着所述第三接合点独立旋转的第一叉状物和第二叉状物，并且所述机器人还包括第一叉状物驱动电机和第二叉状物驱动电机，所述第一叉状物驱动电机和所述第二叉状物驱动电机容纳在所述第二连接滑轮内，用于分别驱动所述第一叉状物和所述第二叉状物；第一叉状物驱动滑轮和第二叉状物驱动滑轮，所述第一叉状物驱动滑轮和所述第二叉状物驱动滑轮分别由所述第一叉状物驱动电机和所述第二叉状物驱动电机进行旋转；第一叉状物驱动输入传送带和第二叉状物驱动输入传送带，所述第一叉状物驱动输入传送带和所述第二叉状物驱动输入传送带分别缠绕所述第一叉状物驱动滑轮和所述第二叉状物驱动滑轮；第一叉状物驱动减速器输入滑轮，所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮通过所述第一叉状物驱动输入传送带与所述第一叉状物驱动滑轮一起旋转；第二叉状物驱动减速器输入滑轮，所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮通过所述第二叉状物驱动输入传送带与所述第二叉状物驱动滑轮一起旋转；第一叉状物驱动减速器，所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述第一叉状物驱动减速器；第二叉状物驱动减速器，所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮的旋转被输入至所述第二叉状物驱动减速器；第一叉状物驱动减速器输出滑轮，所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮被设置在所述第一叉状物驱动减速器的输出轴中；第二叉状物驱动减速器输出滑轮，所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮被设置在所述第二叉状物驱动减速器的输出轴中；第一叉状物驱动输出传送带，所述第一叉状物驱动输出传送带缠绕所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮；第二叉状物驱动输出传送带，所述第二叉状物驱动输出传送带缠绕所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮；第一叉状物驱动第三连接滑轮，所述第一叉状物驱动第三连接滑轮连接到所述第一叉状物的基端部分并且通过所述第一叉状物驱动输出传送带与所述第一叉状物驱动减速器输出滑轮一起旋转；以及第二叉状物驱动第三连接滑轮，所述第二叉状物驱动第三连接滑轮连接到所述第二叉状物的基端部分并且通过所述第二叉状物驱动输出传送带与所述第二叉状物驱动减速器输出滑轮共同旋转，其中所述第一叉状物驱动滑轮、所述第二叉状物驱动滑轮、所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮和所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮至少横向上部分彼此交叠，并且在平面图中看时，所述第二叉状物驱动滑轮、所述第二叉状物驱动输入传送带和所述第二叉状物驱动减速器输入滑轮设置在由所述第一叉状物驱动滑轮、所述第一叉状物驱动输入传送带和所述第一叉状物驱动减速器输入滑轮包围的空间中。
10.根据权利要求6所述的机器人，所述机器人还包括叉状物电缆，所述叉状物电缆被设置为通过所述第一手臂和所述第二手臂从所述机身延伸到所述叉状物；以及缠绕单元，所述缠绕单元被设置在所述叉状物的基端部分，其中所述第二手臂包括在其内部提供的电缆释放空间，在平面图中看时所述电缆释放空间被限定于在所述叉状物驱动滑轮与所述叉状物驱动减速器输入滑轮之间延伸的所述叉状物驱动输入传送带下面，以及电缆通道，所述电缆通道用于互连所述缠绕单元和所述电缆释放空间，所述电缆通道被限定为在所述叉状物驱动减速器的一侧沿着所述第二手臂的纵向方向延伸，以及其中所述叉状物电缆经由所述电缆释放空间、所述电缆通道和所述缠绕单元延伸至所述叉状物，当所述叉状物在第一方向上绕着所述第三接合点旋转时所述叉状物电缆缠绕所述缠绕单元，当所述叉状物在与所述第一方向相反的第二方向上绕着所述第三接合点旋转时所述叉状物电缆在所述电缆释放空间中松开。
11.根据权利要求2所述的机器人，所述机器人还包括空心圆柱形的第一手臂驱动轴，所述第一手臂驱动轴具有固定到所述第一手臂的上端；以及第一手臂驱动电机，所述第一手臂驱动电机被设置在所述机身内用于使所述第一手臂驱动轴旋转，所述第一手臂驱动轴容纳所述第二手臂驱动电机。
12.根据权利要求11所述的机器人，所述机器人还包括提升机构，所述提升机构容纳在所述机身内用于提升或降低所述第一手臂驱动轴。
13.—种基板传送系统，该基板传送系统包括权利要求1至12中任一权利要求所述的水平关节型机器人。
全文摘要
本发明涉及水平关节型机器人和基板传送系统。该水平关节型机器人包括第一手臂和第二手臂，所述第一手臂在基端部分由所述机身支撑，能够绕着第一接合点旋转，所述第二手臂在基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑，能够绕着第二接合点旋转；叉状物，该叉状物包括由第二手臂的梢端部分所支撑的基端部分以绕着第三接合点旋转。第一手臂包括在第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，该第一增大部分的上表面被设置为比第一手臂的基端部分的上表面的高。第二手臂包括在第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，该第二增大部分的下表面被设置为比第二手臂的基端部分的下表面低。第一增大部分和第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。
文档编号H01L21/677GK102233577SQ201110089668
公开日2011年11月9日 申请日期2011年4月11日 优先权日2010年4月21日
发明者日野一纪 申请人:株式会社安川电机