技术编号:7005718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及短波红外雪崩二极管探测器技术,特别涉及一种降低暗计数的APD红外探测器及其制作方法。背景技术在最近的几年里,量子通讯技术得到极大的发展,受到人们广泛的重视。而量子通讯实用化的关键技术之一为需要有高灵敏度的光子探测器。因此人们将目光转向雪崩光电二极管(APD)探测器。工作于盖格模式的Aro有着量子效率高、增益大的特点。单个的载流子就能引起自持的雪崩击穿,形成宏观的电流,从而可以实现单光子探测。基于磷化铟/铟镓砷材料(InP/InGaAs)的APD可...
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