技术编号:7007898
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,包括提供基底,所述基底分为核心区和外围区,在所述核心区形成有多个相互隔开的第一栅极结构,所述第一栅极结构包括第一介质层、位于所述第一介质层上的浮栅、位于浮栅上的第二介质层、位于所述第二介质层上的控制栅,所述外围区形成有栅极结构材料层,所述栅极结构材料层包括栅介质材料层和位于所述栅介质材料层上的栅极材料层;在靠近所述第一栅极结构上表面的侧壁形成第一侧墙,相邻两个第一侧墙相互隔开;图形化所述栅极结构材料层形成第二栅极结构,所述第二栅极结构包括栅介质层和位...
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