技术编号：7009741
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种能够对图案化头的直线移动性进行修正，且借此可精度佳地进行去除加工的加工装置。其解决手段为在将基板固定于载台的状态下，借由使图案化头于水平面内相对于载台至少于一轴方向相对移动，而于基板形成沟槽的进行图案化加工的装置，其具备于载台以于一轴方向延伸的方式设置而成的校准线，且一边使图案化头与图案化加工的情形相同地相对于载台相对移动，一边借由摄影手段对校准线进行拍摄，且根据在所获得的拍摄影像中产生的校准线与一轴方向正交的方向的位移，对图案化加工时的...
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