技术编号：7011271
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种在剥离被处理基板时难以产生因被处理基板的吸附现象导致的基板的破裂以及残留的电荷或剥离带电导致的元件的静电破坏的基板载置台和使用其的基板处理装置。该基板载置台包括包括静电卡盘的载置台主体，该静电卡盘在具有载置基板的载置面的上部绝缘部件内设置被施加直流电压的吸附电极；对载置台主体调节温度的温度调节机构；和对基板的背面侧供给传热气体的传热气体供给机构，具有在载置有基板时在基板与比周缘载置部靠内侧的内侧部分的上表面之间被供给传热气体的空间，吸附电极不...
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