一种双重抗闩锁的环形ldmos-scr结构的高压esd保护器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7014054

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一种双重抗闩锁的环形LDMOS-SCR结构的高压ESD保护器件,可用于片上IC的高压ESD保护电路。包括P型衬底、N型埋层、第一P阱、第一N阱、第二P阱、P掺杂、第二N阱、第三P阱、隔离区、第一P+、第一N+、第二N+、第二P+、第三N+、第三P+、第四N+、第四P+、第五N+、第六N+、第五P+、金属阳极、金属阴极。其中由第二N+、第二P+、第一N+、第一P+或由第四P+、第五N+、第六N+、第五P+构成齐纳击穿ESD电流泄放路径,不仅可增强器件的ESD...
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