技术编号:7016223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,其包括在衬底上形成多个像素单元的光电二极管、MOS晶体管和悬浮漏极;形成接触孔和第一层金属互连线,所述第一层金属互连线包括通过所述接触孔与所述MOS晶体管和所述悬浮漏极电连接的部分;可选择地形成第一通孔及第二层金属互连线,其中所述第二层金属互连线未和所述第一层金属互连线与所述悬浮漏极电连接的部分相连;以及形成第二通孔及第三层金属互连线,其中所述第二通孔位于所述第一层金属互连线与所述悬浮漏极电连接的部分的正上方,所述第三层金属互连线通过所述第二...
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