一种be结集成电阻的改进型槽型联栅晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:7016895

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一种BE结集成电阻的改进型槽型联栅晶体管,包括集电极的引出端、N+衬底、N+导电材料层、N-导电材料层、槽型栅极、基区、氧化层、多晶硅层以及发射极,所述集电极的引出端、N+衬底、N+导电材料层以及N-导电材料层依次相连,所述N-导电材料层上设有两个注有B的槽型栅极,所述栅极之间设有注有B的基区,栅极和基区通过扩散后连成一体,栅极和基区上面设有氧化层,基区和氧化层上开有发射极,同时氧化层上淀积有多晶硅层,多晶硅层通过离子注入As/P形成导电层。本实用新型热稳...
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