技术编号:7021659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提出一种晶盒传输装置,用于传输晶盒,包括传输座、置放板以及若干锁爪;其中,所述置放板固定于所述传输座上,所述锁爪固定于所述置放板的边缘;添加锁爪固定与置放板的边缘,所述锁爪能够在传输过程中夹紧晶盒避免在传输过程中传输座发生抖动时造成晶盒脱落,避免晶盒内的晶圆损伤甚至报废。专利说明晶盒传输装置[0001]本实用新型涉及半导体制造领域,尤其涉及一种晶盒传输装置。背景技术[0002]在半导体制造过程中,晶圆均存放在密封的晶盒中,避免对晶圆造成一定的伤害...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。