晶盒传输装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提出一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，包括：传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘；添加锁爪固定与置放板的边缘，所述锁爪能够在传输过程中夹紧晶盒避免在传输过程中传输座发生抖动时造成晶盒脱落，避免晶盒内的晶圆损伤甚至报废。
【专利说明】晶盒传输装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶盒传输装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造过程中，晶圆均存放在密封的晶盒中，避免对晶圆造成一定的伤害，同时也能方便运输晶圆和管理晶圆。在现有晶圆制造厂中，往往会有一些自动传输晶盒的装置，一方面用于节省人力，另一方面便于实现自动化生产。
[0003]请参考图1，现有技术中晶盒传输装置包括:传输座22和置放板21，所述置放板21固定在所述传输座22上，晶盒10放置在所述置放板21上，由于置放板21带有凹槽，所述晶盒10放置在凹槽内；当传输座22开始运输时，所述晶盒10随着所述传输座22传输，直至运输至目的地。
[0004]然而随着晶盒传输装置的老化，例如电压不稳、马达出现卡顿现象、轴杆损坏老化甚至螺丝松动等原因，均会造成在运输过程中传输座22发生抖动，从而容易导致所述晶盒10脱落，致使存放在晶盒10内的晶圆受损，甚至报废。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种晶盒传输装置能够卡紧晶盒，避免在传输过程中晶盒脱落。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型提出一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，所述晶盒传输装置包括:
[0007]传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘。
[0008]进一步的，所述置放板为四边形板。
[0009]进一步的，所述锁爪为两个，分别固定在所述置放板两个平行的边缘。
[0010]进一步的，所述锁爪为四个，分别固定在所述置放板四个的边缘。
[0011 ] 进一步的，所述锁爪为电动锁爪。
[0012]进一步的，所述锁爪为气动锁爪。
[0013]进一步的，所述晶盒传输装置还包括气缸，放置在所述传输座内部，并与所述锁爪相连。
[0014]进一步的，所述锁爪为方形薄片状。
[0015]进一步的，所述锁爪的长度范围是5cm?25cm，宽度范围是5cm?25cm。
[0016]进一步的，所述锁爪的材质为铜、铝、钢化玻璃或热固塑料。
[0017]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:添加锁爪固定与置放板的边缘，所述锁爪能够在传输过程中夹紧晶盒避免在传输过程中传输座发生抖动时造成晶盒脱落，避免晶盒内的晶圆损伤甚至报废。【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为现有技术中晶盒传输装置的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型一实施例中晶盒传输装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的晶盒传输装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0021]请参考图2，在本实施例中提出一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，所述晶盒传输装置包括:
[0022]传输座220、置放板210以及若干锁爪300 ;其中，所述置放板210固定于所述传输座220上，所述锁爪300固定于所述置放板210的边缘。
[0023]在本实施例中，所述置放板210为四边形板；所述锁爪300为两个，分别固定在所述置放板210两个平行的边缘，这样便于夹紧放置在所述置放板210上的晶盒100，使所述晶盒100不易发生脱落。
[0024]需要指出的时，在本实用新型的其他实施例中，所述锁爪300可以为四个，分别固定在所述置放板210的四边，四个锁爪300能够更加牢固的固定晶盒100。
[0025]在本实施例中，所述锁爪300可以为电动锁爪，由电信号直接控制；所述锁爪300也可以为气动锁爪。若所述锁爪300为气动锁爪时，则所述晶盒传输装置还包括气缸(图未示)，放置在所述传输座220的内部，并与所述锁爪300相连，用于气动控制所述锁爪300的动作。
[0026]在本实施例中，所述锁爪300为方形的薄片状，所述锁爪300的长度范围是5cm?25cm，例如是20cm ;宽度范围是5cm?25cm，例如是15cm ;所述锁爪300的材质为铜、铝、钢化玻璃或热固塑料等硬性材料皆可。
[0027]在具体使用过程中，当所述晶盒100放置在晶盒传输装置上时，晶盒传输装置上的指示灯变亮，表示晶盒100以及放置好，此时晶盒传输装置上的汽缸收到指令，触发锁爪300动作，并锁住所述晶盒100。在整个搬运过程中所述锁爪300都紧锁所述晶盒100直至将所述晶盒100传送至目的地，所述晶盒100就不会因为晶盒传输装置发生抖动而脱落。
[0028]综上，在本实用新型实施例提供的晶盒传输装置中，添加锁爪固定与置放板的边缘，所述锁爪能够在传输过程中夹紧晶盒避免在传输过程中传输座发生抖动时造成晶盒脱落，避免晶盒内的晶圆损伤甚至报废。
[0029]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种晶盒传输装置，用于传输晶盒，其特征在于，所述装置包括: 传输座、置放板以及若干锁爪；其中，所述置放板固定于所述传输座上，所述锁爪固定于所述置放板的边缘。
2.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述置放板为四边形板。
3.如权利要求2所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为两个，分别固定在所述置放板两个平行的边缘。
4.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为四个，分别固定在所述置放板四个的边缘。
5.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为电动锁爪。
6.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为气动锁爪。
7.如权利要求6所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述晶盒传输装置还包括气缸，放置在所述传输座内部，并与所述锁爪相连。
8.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪为方形薄片状。
9.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪的长度范围是5cm?25cm,宽度范围是5cm?25cm。
10.如权利要求1所述的晶盒传输装置，其特征在于，所述锁爪的材质为铜、铝、钢化玻璃或热固塑料。
【文档编号】H01L21/677GK203434135SQ201320510033
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月20日 优先权日:2013年8月20日
【发明者】何崇敏, 沈建飞 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司