技术编号:70231
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及了一种电子束流大小的导向控制装置,属于加速器束流控制技术领域。背景技术目前,国内外加速器的最低工作束流均在毫安数量级,而且常常工作在固定束流下。同一台加速器在不同场合工作时,束流可调范围也在一个数量级内,如要稳定地、平稳地调节到几十微安以内几乎是不可能实现的。通过灯丝的改进,可以使束流在微安数量级内实现平稳可调,但是要在纳安数量级内平稳可调是无法实现的。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种电子束流大小的导向控制装置,通过改变导向线圈的电流大小,调节束流通过圆孔的束流量,从而实现对电子束流大小...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。