专利名称:电子束流大小的导向控制装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及了一种电子束流大小的导向控制装置，属于加速器束流控制技术领域：
。
背景技术：
目前，国内外加速器的最低工作束流均在毫安数量级，而且常常工作在固定束流下。同一台加速器在不同场合工作时，束流可调范围也在一个数量级内，如要稳定地、平稳地调节到几十微安以内几乎是不可能实现的。
通过灯丝的改进，可以使束流在微安数量级内实现平稳可调，但是要在纳安数量级内平稳可调是无法实现的。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种电子束流大小的导向控制装置，通过改变导向线圈的电流大小，调节束流通过圆孔的束流量，从而实现对电子束流大小的控制。
为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是:
一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。
前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述光阑板边缘四周为中空状，并设有通水孔。
前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述导向线圈上方的加速管上设置有聚焦线圈。
前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述扫描盒的上部设有Y扫描线圈和X扫描线圈。
本发明的有益效果是:通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板，并在光阑板的中心位置开一圆孔，通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，该装置结构简单，操作方便，且调节幅度大，可方便的将束流减少2个数量级。
图1是本发明电子束流大小的导向控制装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合
，对本发明做进一步的说明。
如图1所示，一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管1，所述加速管I的下端连接有扫描盒7，所述加速管I上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈3，所述加速管I与扫描盒7的连接处设置有光阑板4，所述光阑板4的中心开有圆孔41。通过在原有装置的扫描盒7与加速管I之间加装一光阑板4，并在光阑板4的中心位置开一圆孔41，通过控制导向线圈3的电流调节电子束流通过圆孔41的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，所述圆孔41的大小为能够让70%左右的束流顺利通过为宜，束流的边缘被光阑板4挡住、吸收。
所述光阑板4边缘四周为中空状，并设有通水孔42，通过通水孔42向光阑板4中加水，以便冷却被阻挡的电子束所发的热量，避免温升。
所述导向线圈3上方的加速管I上设置有聚焦线圈2，所述扫描盒的上部设有Y扫描线圈5和X扫描线圈6。
本发明提供的一种电子束流大小的导向控制装置，通过改变导向线圈的电流大小，调节束流通过圆孔的束流量，从而实现对电子束流大小的控制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求
书及其等效物界。
权利要求
1.一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管(1)，所述加速管(I)的下端连接有扫描盒(7)，其特征在于:所述加速管(I)上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈(3)，所述加速管(I)与扫描盒(7)的连接处设置有光阑板(4)，所述光阑板(4)的中心开有圆孔(41)。
2.根据权利要求
1所述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述光阑板(4)边缘四周为中空状，并设有通水孔(42)。
3.根据权利要求
1或2所述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述导向线圈(3)上方的加速管(I)上设置有聚焦线圈(2)。
4.根据权利要求
3所述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述扫描盒的上部设有Y扫描线圈(5)和X扫描线圈(6)。
专利摘要
本发明公开了一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。本发明解决了现有技术中微安数量级的电子束大小调节困难，无法实现的问题，通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板，并在光阑板的中心位置开一圆孔，通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，该装置结构简单，操作方便，且调节幅度大，可方便的将束流减少2个数量级。
文档编号G21K1/02GKCN103093851SQ201310020818
公开日2013年5月8日 申请日期2013年1月21日
发明者胡志荣 申请人:江苏达胜加速器制造有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan