技术编号:7023467
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型实施例公开了一种X射线检测装置阵列基板,包括薄膜晶体管和与薄膜晶体管相连的光电二极管传感器件。薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层和源极、漏极,其中薄膜晶体管的有源层上下设置有二次电子发射层,形成微通道结构,使有源层获得了较高的载流子迁移率,从而提高了薄膜晶体管的性能,提升了X射线检测装置的灵敏度。另外,本实用新型实施例公开的X射线检测装置阵列基板采用柔性衬底,使X射线检测装置具有轻薄、安装简便、功耗低、携带方便、经久耐用等优点。专利说明X射线...
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