技术编号:7025678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及静电吸附盘,尤其涉及一种静电吸附盘底盘的拆装工具。本实用新型提供了一种静电吸附盘底盘的拆装工具,包括三立支架、拆装机构和夹具,所述三立支架中轴线处设置拆装机构,三立支架各支架上部设立夹具。此工具可方便且平稳的对静电吸附盘的底盘先行进行拆装。专利说明一种静电吸附盘底盘的拆装工具[0001]本实用新型涉及静电吸附盘,尤其涉及一种静电吸附盘底盘的拆装工具。背景技术[0002]目前,半导体领域内的很多工艺腔内使用静电吸附盘吸附晶圆。如图1所示,为静电...
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