一种静电吸附盘底盘的拆装工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及静电吸附盘【技术领域】，尤其涉及一种静电吸附盘底盘的拆装工具。本实用新型提供了一种静电吸附盘底盘的拆装工具，包括三立支架、拆装机构和夹具，所述三立支架中轴线处设置拆装机构，三立支架各支架上部设立夹具。此工具可方便且平稳的对静电吸附盘的底盘先行进行拆装。
【专利说明】一种静电吸附盘底盘的拆装工具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及静电吸附盘【技术领域】，尤其涉及一种静电吸附盘底盘的拆装工具。
【背景技术】
[0002]目前，半导体领域内的很多工艺腔内使用静电吸附盘吸附晶圆。如图1所示，为静电吸附盘部分的正视图，包括底座边缘11和底盘12,所述底盘12可设置螺孔13。
[0003]在检查静电吸附盘顶针时需要拆卸底座盖板，由于机台一般处于真空状态，在拆静电吸附盘底座盖板时是在大气状态下进行的，所以这个盖板在拆装的时候会非常紧，一旦拆装时动作不平衡，会导致密封圈损坏。而密封圈是一个成本高且长时间使用不更换的部件。为了安全处理，所以一般花费很长时间，并且由于机台装配紧凑，拆装的空间非常小，更增加了拆装作业的时间和难度。为了减少作业时间和拆装失误对设备零件的损坏，于是需要拆装工具来改进拆装过程。而在拆卸静电吸附盘底座盖板时，需要先从底部拆下底盘。在回装的时候也需要安装底盘。因此，需要一个辅助的拆装工具，方便且平稳的对底盘行进行拆装。
实用新型内容
[0004]为解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种静电吸附盘底盘的拆装工具，能够方便且平稳的对底盘进行拆装。
[0005]本实用新型提供了一种静电吸附盘底盘的拆装工具，包括三立支架、拆装机构和夹具，所述拆装机构包括升降平台、螺旋升降轴和升降旋钮，所述升降平台以所述螺旋升降轴为对称轴设置螺纹通孔，其中:所述三立支架中轴线处设置轴螺纹通孔，所述拆装机构通过所述螺旋升降轴与所述轴螺纹通孔螺纹连接；所述升降旋钮固定在所述螺旋升降轴下端，且位于所述三立支架与所述螺旋升降轴连接处的下方；所述三立支架各支架上部设立夹具。
[0006]优选的，所述夹具设置定位螺钉，对应的，所述三立支架各支架等高的设置定位螺孔。
[0007]更优选的，所述三立支架各支架的定位螺孔沿支架等高、等分度设置。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为现有的静电吸附盘部分的正视图。
[0009]图2为本实用新型的一种静电吸附盘底盘的拆装工具的立体图。
[0010]图3为本实用新型的一种静电吸附盘底盘的拆装工具的拆装机构的正视图。
[0011]图4为本实用新型的一种静电吸附盘底盘的拆装工具的夹具及所对应的三立支架部分的立体图。
[0012]图5为本实用新型的工具在拆卸下底盘后的工作状态示意图。[0013]附图1中,各标号所代表的部件列表如下:
[0014]11:底座边缘
[0015]12:底盘
[0016]13:螺孔
[0017]附图2中，各标号所代表的部件列表如下:
[0018]2:三立支架
[0019]3:拆装机构
[0020]4:夹具
[0021]21:轴螺纹通孔
[0022]图3中，各标号所代表的部件列表如下:
[0023]31:升降平台
[0024]32:螺旋升降轴
[0025]33:升降旋钮
[0026]311:螺纹通孔
[0027]图4中,各标号所代表的部件列表如下:
[0028]22:定位螺孔
[0029]41:定位螺钉
【具体实施方式】
[0030]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0031]在一个具体的实施方式中，如图2所示，本实用新型的一种静电吸附盘底盘的拆装工具，包括三立支架2、拆装机构3和夹具4，所述三立支架2中轴线处还设置轴螺纹通孔21，所述三立支架中轴线处设置拆装机构3，所述三立支架2各支架上部设立夹具4。
[0032]如图3所示，所述拆装机构包括升降平台31、螺旋升降轴32和升降旋钮33，所述升降平台31优选为矩形平板，其上以所述螺旋升降轴32为对称轴设置螺纹通孔311。其中，所述拆装机构3通过所述螺旋升降轴32与所述轴螺纹通孔21螺纹连接，所述升降旋钮33固定在所述螺旋升降轴32下端，且位于所述三立支架2与所述螺旋升降轴32连接处的下方。
[0033]优选的，如图4所示，所述夹具设置定位螺钉41。对应的，所述三立支架各支架等高的设置定位螺孔22。
[0034]更优选的，所述三立支架2各支架的定位螺孔22沿支架等高、等分度设置。
[0035]结合图1，在实际操作中，先将夹具4拆下来分别固定在底座边缘11上，再把三立支架2各支架分别插入对应的夹具4中，然后拧入定位螺钉41固定。然后把升降平台31靠近底盘12，用长螺钉从螺纹通孔311的下部拧入，直至长螺钉穿过螺纹通孔311并进入螺孔13。拧紧后，升降平台31就通过长螺钉与底盘12紧固连接。最后，就可以通过平稳的转动升降旋钮33来转动螺旋升降轴32，从而带动升降平台31平稳的转动且下降。最终，底盘12被带动平稳的旋转且下降，直至底盘12分离。分离时的状态图如图5所示。
[0036]安装的操作为先将夹具4拆下来分别固定在底座边缘11上，再把三立支架2各支架分别插入对应的夹具4中，然后拧入定位螺钉41固定。接着，再通过长螺钉将底盘12紧固连接在升降平台31之上。然后，通过平稳的转动升降旋钮33来转动螺旋升降轴32，从而带动升降平台31平稳的转动且上升。最终，底盘12被带动平稳的旋转且上升，直至底盘12接触到静电吸附盘的底座盖板，即完成辅助安装的功能。
[0037]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种静电吸附盘底盘的拆装工具，包括三立支架、拆装机构和夹具，其特征在于:所述拆装机构包括升降平台、螺旋升降轴和升降旋钮，所述升降平台以所述螺旋升降轴为对称轴设置螺纹通孔，其中: 所述三立支架中轴线处设置轴螺纹通孔，所述拆装机构通过所述螺旋升降轴与所述轴螺纹通孔螺纹连接； 所述升降旋钮固定在所述螺旋升降轴下端，且位于所述三立支架与所述螺旋升降轴连接处的下方； 所述三立支架各支架上部设立夹具。
2.根据权利要求1所述的静电吸附盘底盘的拆装工具，其特征在于:所述夹具设置定位螺钉，对应的，所述三立支架各支架等高的设置定位螺孔。
3.根据权利要求2所述的静电吸附盘底盘的拆装工具，其特征在于:所述三立支架各支架的定位螺孔沿支架等高、等分度设置。
【文档编号】H01L21/67GK203536385SQ201320609685
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年9月30日 优先权日:2013年9月30日
【发明者】闵磊 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司