技术编号:7030003
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种硅片隐裂检测装置,包括一密闭箱体,加热器、热电偶、温控智能仪表、进气管和出气管;所述密闭箱体内容置液态水;所述加热器对所述液态水加热;所述热电偶测量所述液态水的温度;所述温控智能仪表控制所述加热器的通断电;空气经所述进气管输入所述密闭箱体内,且所述空气与所述水蒸气构成混合气;所述混合气经所述出气管输出所述密闭箱体,并喷射于待测硅片上。所述硅片隐裂检测装置,成本低,操作简单,持续性长,可投入在生产中广泛应用。专利说明—种硅片隐裂检测装置[...
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