技术编号：7031742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种传送晶片的真空机械手臂，其包括机械手臂，所述机械手臂包括手臂根部和手臂端部，在所述手臂根部和手臂端部各设置一个真空孔，之间通过机械手臂内部的真空管道连通；在手臂根部设有螺丝孔。在所述手臂端部围绕真空孔设有环形凸纹。本实用新型的优点是结构简单合理，既节省材料、节约成本，又满足了设备对8寸晶片的真空取片的要求，提高了生产效率。专利说明传送晶片的真空机械手臂[0001]本实用新型涉及一种真空机械手臂，用于8寸半导体晶片的传送。背景技术[000...
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