沟槽式萧基二极管及其制作方法技术资料下载

技术编号:7033764

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本发明涉及一种,尤其是涉及一种以一制作方法以提供出一种具有较低的反向电压漏电流、较低的正向偏置电压(Vf)、较高的反向耐电压值以及较短的反向回复时间(tKK)等特性的沟槽式萧基二极管。背景技术萧基二极管(Schottky Diode)为以电子作为载流子的单极性元件,其特性为速度快,且于加入较低的正向偏置电压(Forward Bias Voltage ;Vf)时,便可有较大的顺向电流与较短的反向回复时间(Reverse Recovery Time ;tKK)...
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