阵列基板及其制造方法技术资料下载

技术编号:7035914

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本发明是有关于一种,特别是一种应用于显示器的。背景技术显示器中的阵列基板主要包含有薄膜晶体管以及其它电子组件。一般是使用5道以上光罩制程来制造阵列基板。其中薄膜晶体管结构中的半导体层大多为非晶硅。绝缘层多为无机氧化物,例如氧化硅或氮化硅。然而,由于一般需使用化学气相沉积法来制造半导体层及绝缘层,故制程温度较高。因此必须选用耐高温的材料。故基板多为耐热的玻璃材质,使得阵列基板不具有可挠性。但由于目前对于显示器轻、薄与可挠折的需求,使得软性显示器的开发越来越重...
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