技术编号:7036849
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。准备由碳化硅制成的单晶衬底(11)以及比单晶衬底(11)中的每一个大的第一支撑衬底(31)。单晶衬底(11)接合在第一支撑衬底(31)上。使已经接合至第一支撑衬底(31)的单晶衬底(11)经历加工。移除第一支撑衬底(31)。单晶衬底(11)被热处理。单晶衬底(11)接合至比单晶衬底(11)大的第二支撑衬底(32)上。使接合至第二支撑衬底(32)的单晶衬底(11)经历加工。专利说明 [0001] 本发明涉及一种,并且更具体地涉及一种具有热处 理的制造碳...
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