技术编号:7038263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池制造用碱性蚀刻液,其包含(A)通式[1]表示的单磺酸或二磺酸或它们的盐、(B)碱性化合物和(C)水;另外涉及一种太阳能电池制造用硅系基板的制造方法,其特征在于,使用该蚀刻液对以硅为主要成分的晶片进行蚀刻,在该晶片的表面形成凹凸结构。{式中,p个R1各自独立地表示氢原子、羟基或碳原子数为1~10的烷基,q个M各自独立地表示氢原子、碱金属原子、铵(NH4)基或四烷基铵(R24N)基(式中,R2表示碳原子数为1~4的烷基),n表示0或1,...
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