技术编号：7045270
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例公开了，用于制造低分辨率的OLED面板的非晶硅阵列基板，该方法包括如下步骤在玻璃基板上采用第一道光罩工艺，形成栅极金属层和像素电极图案；采用第二道光罩工艺，形成栅极绝缘层、半导体层图案，所述第一道光罩工艺和第二光罩工艺均为半调式光罩工艺；采用第三道光罩工艺，形成源/漏极金属层和沟道；采用第四道光罩工艺，形成钝化层。实施本发明实施例，简化了制造低分辨率OLED显示面板的a-Si阵列基板的工艺流程，可以减少掩膜板的使用量，降低了生产成本。专利说明[...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。