阵列基板制作方法技术资料下载

技术编号:7052130

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本发明涉及显示,公开了一种,包括如下步骤在衬底基板上形成包括隔离层和金属氧化物半导体层的图形;形成包括栅绝缘层及栅极的图形;以所述栅极为遮挡对所述金属氧化物半导体层的非栅极对应区域进行掺杂,以形成接触电阻区;形成包括第一绝缘间隔层及其上的第一过孔和第二过孔的图形,以暴露出用于源极和漏极与接触电阻区连接的区域;形成包括源极、漏极、第二绝缘间隔层和像素电极的图形。本发明通过对金属氧化物半导体层进行掺杂,形成接触电阻区,从而降低了TFT的漏电流,使得在低刷新频率...
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