技术编号:7054131
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种夹持式硅片涂布旋转机,包括马达、转轴、转盘、夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关,所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接,所述转盘设置在转轴顶端,所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上;所述夹板有三个,等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘,在夹板的上端设置有凸台;所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽;所述拉绳有两根,对称设置在推板底部两侧,拉绳的下端固定在踏板上。本发明保证了硅片与转轴同心,不会发生偏心现象;推板通过拉绳控...
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