夹持式硅片涂布旋转的制造方法
【专利摘要】一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴、转盘、夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。本发明保证了硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。
【专利说明】夹持式硅片涂布旋转机
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种硅片涂布设备，具体的说是一种夹持式硅片涂布旋转机。
【背景技术】
[0002] 硅片加工工艺中，在硅片放入高温扩散炉中扩散时需要在硅片表面涂金水，现在 的涂布设备都是采用真空泵将硅片吸附在转盘上，然后用毛刷在硅片上涂布，由于转盘上 没有卡位装置，硅片放在转盘上旋转时会偏心，不仅不方便涂布，而且会造成涂布不均。
【发明内容】
[0003] 为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种操作方便，硅片 不会偏心的夹持式硅片涂布旋转机。
[0004] 为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种夹持式硅片涂布旋转机，包括 马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端， 其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板 弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置 在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的 凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。
[0005] 进一步的，所述踏板包括末端铰接在一起的上板和下板，在所述上板和下板之间 设置一扭簧；所述拉绳分别固定在上板的前端两侧。
[0006] 进一步的，在所述夹板的上端设置有阶梯状凸台。
[0007] 本发明的有益效果是：它通过夹板与推板的配合将硅片夹住，使硅片与转轴同心， 不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有 阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明： 图1为本发明的整体结构示意图； 图2为本发明的踏板结构示意图； 图3为本发明的推板俯视图。
[0009] 图中，1夹板、11凸台、2推板、21凹槽、3推板弹簧、4拉绳、5踏板、51上板、52下 板、53扭簧、6转轴、61圆环台、7转盘、8马达开关、9桌面。
【具体实施方式】
[0010] 如图1至图3所示，本发明的具体实施例包括夹板1、推板2、推板弹簧3、拉绳4、 踏板5、转轴6、转盘7、马达和马达开关8。
[0011] 所述马达的输出轴与所述转轴6的底端连接，马达位于桌面9的下方，马达开关8 优选的设计成脚踏式开关。
[0012] 所述转盘7、推板2和推板弹簧3自上而下依次套置在所述转轴6上，所述转盘7 固定设置在转轴6顶端，推板2活动套置在转轴6上，在转轴6的底部设置有圆环台61，推 板弹簧3套在转轴6上后，圆环台61将推板弹簧3挡住，然后套上推板2。
[0013] 所述夹板1有三个，夹板1坚立设置，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘 7的边缘，本实施例中，转盘7设计成近似等边三角形，在每一个角上设置一个夹板1。在夹 板1的上端设置有凸台，进一步的，为了可以加持不同直径的硅片，在所述夹板1的上端设 置有阶梯状凸台11。所述推板2上的边缘设置有与所述夹板1对应的凹槽21，夹板1的下 边缘落入对应的凹槽内。
[0014] 所述拉绳4有两根，对称设置在推板2底部两侧，拉绳4的下端固定在踏板5上。 所述踏板5包括末端铰接在一起的上板51和下板52,在所述上板51和下板52之间设置一 扭簧53。所述拉绳4分别固定在上板51的前端两侧。
[0015] 使用时，用脚踩踏上板51，带动拉绳4,拉绳4拉动推板2下移，夹板1在重力作用 下，下端落下，这时将硅片放在夹板1的上端的凸台11上，松开脚后，在推板弹簧3的作用 力下，推板2上移，推动夹板1，夹板1将硅片夹紧。
[0016] 以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在 不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发 明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴 的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、 踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有 三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推 板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉 绳的下端固定在踏板上。
2. 根据权利要求1所述的夹持式硅片涂布旋转机，其特征在于，所述踏板包括末端铰 接在一起的上板和下板，在所述上板和下板之间设置一扭簧；所述拉绳分别固定在上板的 前端两侧。
3. 根据权利要求1所述的夹持式硅片涂布旋转机，其特征在于，在所述夹板的上端设 置有阶梯状凸台。
【文档编号】H01L21/67GK104103559SQ201410350736
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2014年7月23日
【发明者】马汝朝 申请人:济南晶博电子有限公司