一种光刻胶涂布及回收装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7，其特征在于：还包括旋转阀门3；所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连；所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连；所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3，所述转阀芯3.1旋转一定角度后，设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通，所述转阀芯3.1旋转另一角度后，设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。
【专利说明】一种光刻胶涂布及回收装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及平板显示（包括液晶显示器、等离子显示器、有机发光显示器等）及半 导体等【技术领域】，具体而言涉及器件制备过程中光刻胶涂布及回收利用的一种技术。
【背景技术】
[0002] 涂布技术就是在器件制作过程中在待加工基板表面涂覆一层光刻胶，然后通过后 续曝光、显影、蚀刻、脱膜等工序制作出需求的电极或绝缘层图形。在平板显示和半导体制 造行业，涂布技术是非常关键的工艺技术，其按设备使用方式的不同分类为：旋转涂布、线 状涂布和滚动涂布等，其中线状涂布方式被广泛应用于平板显示行业，其主要特点在于：涂 布精度高，平坦度好，节拍快，产能高。在制造型企业中，制造成本是关系到企业能否立足于 市场的核心竞争力，而在线状涂布方式制程中，其原材料光刻胶通常是从国外进口的，价格 非常昂贵，如何减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率对于企业制造成本的降低有非常 重要的意义。
【发明内容】
[0003] 为了减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率，本发明提供一种光刻胶涂布及回 收装置。
[0004] 技术方案：一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、旋转 阀门3、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7。旋转阀门3通过 光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相 连；旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶 抽取装置4相连。
[0005] 旋转阀门3包括旋转阀芯3. 1和旋转阀门内壳3. 3 ;旋转阀芯3. 1的一端设置于 旋转阀门内壳3. 3上，另一端与动力装置7相连，旋转阀芯3. 1相对于旋转阀门内壳3. 3旋 转。
[0006] 旋转阀芯3. 1设置有第一通孔3. 1. 1、第二通孔3. 1. 2、旋转阀芯电机连接轴 3. 1. 3、通孔防渗漏垫圈3. 1. 4、活动卡盘3. 1. 5和卡盘防渗漏垫圈3. 1. 6 ;第一通孔3. 1. 1 和第二通孔3. 1. 2设置于旋转阀芯3. 1的一端，旋转阀芯电机连接轴3. 1. 3设置于旋转阀 芯3. 1的另一端，活动卡盘3. 1. 5设置于旋转阀芯3. 1的轴向中间位置；第一通孔3. 1. 1和 第二通孔3. 1. 2设置于旋转阀芯3. 1的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆心的连线 成90度夹角，同时，二者在旋转阀芯3. 1内部是连通的；第一通孔3. 1. 1和第二通孔3. 1.2 开口外围处设置有通孔防渗漏垫圈3. 1. 4 ;活动卡盘3. 1. 5靠通孔的一侧设置有卡盘防渗 漏垫圈3. 1.6。
[0007] 旋转阀门内壳3. 3设置有旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1、旋转阀门内壳涂布 刮刀接口 3. 3. 2、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3、旋转阀芯固定孔3. 3. 4、销钉孔 3. 3. 5和活动卡槽3. 3. 6 ;旋转阀芯固定孔3. 3. 4设置于旋转阀门内壳3. 3 -底面的中心位 置且孔的一端是密封的，活动卡槽3. 3. 6设置于旋转阀芯固定孔3. 3. 4的未密封端；旋转阀 门内壳光胶容器接口 3.3. 1、旋转阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2和旋转阀门内壳光胶抽取 装置接口 3. 3. 3分别设置于旋转阀门内壳3. 3的三个侧面上且各接口均与旋转阀芯固定孔 3. 3. 4连通，各接口均设置有内螺纹；销钉孔3. 3. 5设置于旋转阀门内壳3. 3底面的四个角 上，销钉孔3. 3. 5用于固定旋转阀门3。
[0008] 旋转阀芯3. 1带通孔的一端与旋转阀芯固定孔3. 3. 4相匹配，活动卡盘3. 1. 5与 活动卡槽3. 3. 6相匹配，旋转阀芯3. 1和旋转阀门内壳3. 3通过活动卡盘3. 1. 5与活动卡 槽3. 3. 6固定连接，且二者可相对旋转；在旋转阀芯（3.1)旋转一定角度后，所述第一通孔 (3. 1. 1)、第二通孔（3. 1. 2)在垂直位置上分别与所述旋转阀门内壳光胶容器接口（3. 3. 1) 的内开口、旋转阀门内壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)的内开口、旋转阀门内壳光胶抽取装置接 口（3. 3. 3)的内开口中的二者相对应。
[0009] 光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4和涂布刮刀传输管6的一端设置有分别与旋转 阀门内壳光胶容器接口 3.3. 1、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3和旋转阀门内壳涂 布刮刀接口 3. 3. 2内螺纹相匹配的外螺纹，光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4和涂布刮刀 传输管6分别与旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3 和旋转阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2相连。
[0010] 光刻胶抽取装置4设置有光刻胶抽取筒4. 1和光刻胶抽取活塞4. 2 ;光刻胶抽取 活塞4. 2设置于光刻胶抽取筒4. 1内。
[0011] 动力装置7包括主控电路7. 1、旋转阀芯电机7. 2和直线电机7.3 ;主控电路7. 1 分别与旋转阀芯电机7. 2和直线电机7. 3相连，旋转阀芯电机7. 2与旋转阀芯电机连接轴 3. 1. 3相连，直线电机7. 3与光刻胶抽取活塞4. 2相连。
[0012] 光刻胶传输管2上设置有过滤器2. 1。
[0013] 由于采用了上述技术方案，该装置可以将涂布刮刀、传输管和过滤器中残留的光 刻胶吸入挤压回光刻胶容器中，达到了减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率的目的， 且该装置集光刻胶涂布工艺与光刻胶回收过程一体化，其结构简单紧凑、操作高效方便，回 收的光刻胶不受污染、100%再利用，大大的节约企业的制造成本，有力的增强了企业的竞 争力，为企业的发展做出了突出的贡献。
【专利附图】
【附图说明】 [0014]
[0015] 图1是本发明的整体结构示意图。
[0016] 图2中是旋转阀门的立体示意图。
[0017] 图3是图2中的A-A剖视图。
[0018] 图4是图3中旋转阀芯顺时针旋转90度后的示意图。
[0019] 图5是旋转阀芯结构示意图。
[0020] 图6是图5中的B-B剖视图。
[0021] 图7是旋转阀门内壳的立体结构示意图。
[0022] 图8是图7中的D-D剖视图。
[0023] 1光刻胶容器；2光刻胶传输管；2. 1过滤器；3旋转阀门；3. 1旋转阀芯；3. 1. 1第 一通孔；3. 1.2第二通孔；3. 1.3旋转阀芯电机连接轴；3. 1.4通孔防渗漏垫圈；3. 1.5活 动卡盘；3. 1. 6卡盘防渗漏垫圈；3. 3旋转阀门内壳；3. 3. 1旋转阀门内壳光胶容器接口； 3. 3. 2旋转阀门内壳涂布刮刀接口；3. 3. 3旋转阀门内壳光胶抽取装置接口；3. 3. 4旋转阀 芯固定孔；3. 3. 5销钉孔；3. 3. 6活动卡槽；4光刻胶抽取装置；4. 1光刻胶抽取筒；4. 2光刻 胶抽取活塞；5涂布刮刀；6涂布刮刀传输管；7动力装置；7. 1主控电路；7. 2旋转阀芯电 机；7. 3直线电机
【具体实施方式】
[0024] 下面结合附图对本发明做进一步详述。
[0025] 如图1所示，一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、旋 转阀门3、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7。旋转阀门3通 过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5 相连；旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；动力装置7同时与旋转阀门3和光刻 胶抽取装置4相连。
[0026] 工作时，动力装置7控制旋转阀门3和光刻胶抽取装置4配合工作，完成光刻胶的 输送和回收，涂布过程光刻胶的输送：动力装置7控制旋转阀门3使光刻胶容器1与光刻 胶抽取装置4连通，此时动力装置7再控制光刻胶抽取装置4抽取光刻胶容器1中的光刻 胶，然后动力装置7控制旋转阀门3使光刻胶抽取装置4与涂布刮刀5连通，继而动力装置 7控制光刻胶抽取装置4使其从光刻胶容器1中抽取来的光刻胶挤压推入至涂布刮刀5,完 成涂布过程对光刻胶的输送。而光刻胶的回收是上述的逆过程：动力装置7控制旋转阀门 3使光刻胶抽取装置4与涂布刮刀5连通，继而动力装置7控制光刻胶抽取装置4抽取涂布 刮刀5及传输管上残留的光刻胶，然后动力装置7控制旋转阀门3使光刻胶容器1与光刻 胶抽取装置4连通，此时动力装置7再控制光刻胶抽取装置4使其将抽取回的光刻胶挤压 推入至光刻胶容器1中，同时过滤器即传输管上残留的光刻胶也被推入至光刻胶容器1中， 完成对光刻胶的回收。
[0027] 如图2所示，旋转阀门3包括旋转阀芯3. 1和旋转阀门内壳3. 3 ;旋转阀芯3. 1的 一端设置于旋转阀门内壳3. 3上，另一端与动力装置7相连，旋转阀芯3. 1相对于旋转阀门 内壳3. 3旋转。
[0028] 如图5所示，旋转阀芯3. 1设置有第一通孔3. 1. 1、第二通孔3. 1.2、旋转阀芯电机 连接轴3. 1. 3、通孔防渗漏垫圈3. 1. 4、活动卡盘3. 1. 5和卡盘防渗漏垫圈3. 1. 6 ;第一通孔 3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2设置于旋转阀芯3. 1的一端，旋转阀芯电机连接轴3. 1. 3设置于 旋转阀芯3. 1的另一端，活动卡盘3. 1. 5设置于旋转阀芯3. 1的轴向中间位置；第一通孔 3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2设置于旋转阀芯3. 1的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆 心的连线成90度夹角，同时，二者在旋转阀芯3. 1内部是连通的；第一通孔3. 1. 1和第二通 孔3. 1. 2开口外围处设置有通孔防渗漏垫圈3. 1. 4 ;活动卡盘3. 1. 5靠通孔的一侧设置有 卡盘防渗漏垫圈3. 1.6。
[0029] 动力装置7通过旋转阀芯电机连接轴3. 1. 3控制旋转阀芯3. 1在旋转阀门内壳 3. 3内转动，使其第一通孔3. 1. 1和第二通孔3. 1. 2将光刻胶容器1、光刻胶抽取装置4、涂 布刮刀5中的二者连通，完成光刻胶的输送或回收，通孔防渗漏垫圈3. 1. 4和卡盘防渗漏垫 圈3. 1. 6防止光刻胶的渗漏和空气对光刻胶的污染。
[0030] 如图7所示，旋转阀门内壳3. 3设置有旋转阀门内壳光胶容器接口 3.3. 1、旋转 阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3、旋转阀芯固定孔 3. 3. 4、销钉孔3. 3. 5和活动卡槽3. 3. 6 ;旋转阀芯固定孔3. 3. 4设置于旋转阀门内壳3. 3 - 底面的中心位置且孔的一端是密封的，活动卡槽3. 3. 6设置于旋转阀芯固定孔3. 3. 4的未 密封端；旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1、旋转阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2和旋转阀门 内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3分别设置于旋转阀门内壳3. 3的三个侧面上且各接口均与旋 转阀芯固定孔3. 3. 4连通，各接口均设置有内螺纹；销钉孔3. 3. 5设置于旋转阀门内壳3. 3 底面的四个角上。
[0031] 旋转阀芯3. 1带通孔的一端插入旋转阀芯固定孔3. 3. 4内，活动卡盘3. 1. 5卡在 活动卡槽3. 3. 6上，旋转阀芯3. 1可在旋转阀芯固定孔3. 3.4内旋转；在旋转阀芯（3. 1)旋 转一定角度后，所述第一通孔（3. 1. 1)孔、第二通孔（3. 1. 2)孔分别与所述旋转阀门内壳光 胶容器接口（3. 3. 1)的内开口、旋转阀门内壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)的内开口、旋转阀门内 壳光胶抽取装置接口（3. 3. 3)的内开口中的二者相对应，保证旋转阀芯旋转一定角度后， 其通孔可与旋转阀门内壳各接口中的二者连通；旋转阀门内壳3. 3通过销钉孔3. 3. 5被固 定于需要固定的位置。
[0032] 光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4和涂布刮刀传输管6设有外螺纹的一端通过螺 纹分别与旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3和旋 转阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2固定连接。
[0033] 如图1所不，光刻胶抽取装置4设置有光刻胶抽取筒4. 1和光刻胶抽取活塞4. 2 ; 光刻胶抽取活塞4. 2设置于光刻胶抽取筒4. 1内。动力装置7包括主控电路7. 1、旋转阀芯 电机7. 2和直线电机7. 3 ;主控电路7. 1分别与旋转阀芯电机7. 2和直线电机7. 3相连，旋 转阀芯电机7. 2与旋转阀芯电机连接轴3. 1. 3相连，直线电机7. 3与光刻胶抽取活塞4. 2 相连。同时，光刻胶传输管2上设置有过滤器2.1。
[0034] 主控电路7. 1控制旋转阀芯电机7. 2使旋转阀芯3. 1只沿顺时针旋转90度或270 度，旋转90度后，第一通孔3. 1. 1与旋转阀门内壳涂布刮刀接口 3. 3. 2对齐连通，第二通孔 3. 1. 2与旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3,即使得涂布刮刀5与光刻胶抽取装置4连 通；旋转270度后，第一通孔3. 1. 1与旋转阀门内壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3对齐连通，第 二通孔3. 1. 2与旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1连通，即使得光刻胶容器1与光刻胶抽 取装置4连通。主控电路7. 1控制直线电机7. 2使光刻胶抽取活塞4. 2向外退出或向内推 进光刻胶抽取筒4. 1。
[0035] 本发明工作原理如下：
[0036] 开始工作前，会对旋转阀芯3. 1进行位置初调，使其第一通孔3. 1. 1与旋转阀门内 壳光胶抽取装置接口 3. 3. 3对齐连通，第二通孔3. 1. 2与旋转阀门内壳光胶容器接口 3. 3. 1 连通，即使得光刻胶容器1与光刻胶抽取装置4连通。然后启动主控电路7. 1，开始工作，此 时，主控电路7. 1控制光刻胶抽取活塞4. 2向外退出光刻胶抽取筒4. 1，将光刻胶容器1中 的光刻胶抽取至光刻胶抽取筒4. 1中；接着主控电路7. 1控制旋转阀芯3. 1旋转90度，然 后控制光刻胶抽取活塞4. 2向内推进光刻胶抽取筒4. 1，将光刻胶抽取筒4. 1内的光刻胶输 送至涂布刮刀5上；接着主控电路7. 1控制旋转阀芯3. 1旋转270度，然后控制光刻胶抽取 活塞4. 2向外退出光刻胶抽取筒4. 1，将光刻胶容器1中的光刻胶抽取至光刻胶抽取筒4. 1 内；接着主控电路7. 1控制旋转阀芯3. 1旋转90度…如此反复，完成对光刻胶的输送工作， 并且输送光刻胶结束后，主控电路7. 1会控制使旋转阀芯3. 1是处于使涂布刮刀5与光刻 胶抽取装置4连通的状态。
[0037] 如何通过电路实现这种循环控制是本领域的惯用技术手段，在此不做详述。
[0038] 而光刻胶的回收则是上述输送的逆过程：主控电路7. 1控制光刻胶抽取活塞4. 2 向外退出光刻胶抽取筒4. 1，将涂布刮刀5及涂布刮刀传输管6内残留的光刻胶抽取至光 刻胶抽取筒4. 1中；接着主控电路7. 1控制旋转阀芯3. 1旋转270度，然后控制光刻胶抽 取活塞4. 2向内推进光刻胶抽取筒4. 1，将光刻胶抽取筒4. 1内光刻胶输送至光刻胶容器1 中，同时光刻胶传输管2及过滤器2. 1内的残留光刻胶亦被推回至光刻胶容器1中，完成对 残留的光刻胶的回收。
【权利要求】
1. 一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器（1)、光刻胶传输管（2)、光刻胶抽取 装置（4)、涂布刮刀（5)、涂布刮刀传输管（6)和动力装置（7)，其特征在于：还包括旋转阀 门⑶； 所述旋转阀门（3)通过光刻胶传输管（2)与光刻胶容器（1)相连； 所述旋转阀门（3)通过涂布刮刀传输管（6)与涂布刮刀（5)相连； 所述旋转阀门（3)通过螺纹与光刻胶抽取装置（4)相连； 所述动力装置（7)同时与旋转阀门（3)和光刻胶抽取装置（4)相连。
2. 根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述旋转阀门（3) 包括，旋转阀芯（3. 1)和旋转阀门内壳（3. 3);旋转阀芯（3. 1)的一端设置于旋转阀门内壳 (3. 3)上，另一端与动力装置（7)相连，旋转阀芯（3. 1)相对于旋转阀门内壳（3. 3)旋转； 所述旋转阀芯（3. 1)设置有第一通孔（3. 1. 1)、第二通孔（3. 1. 2)、旋转阀芯电机连接 轴（3. 1. 3)、通孔防渗漏垫圈（3. 1. 4)、活动卡盘（3. 1. 5)和卡盘防渗漏垫圈（3. 1. 6);所 述第一通孔（3. 1. 1)和第二通孔（3. 1. 2)设置于旋转阀芯（3. 1)的一端，所述旋转阀芯电 机连接轴（3. 1. 3)设置于旋转阀芯（3. 1)的另一端，所述活动卡盘（3. 1. 5)设置于旋转阀 芯（3.1)的轴向中间位置；所述第一通孔（3. 1.1)和第二通孔（3. 1.2)设置于旋转阀芯 (3. 1)的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆心的连线成90度夹角，同时，二者在旋 转阀芯（3. 1)内部是连通的；所述第一通孔（3. 1. 1)和第二通孔（3. 1. 2)开口外围处设置 有通孔防渗漏垫圈（3. 1.4);所述活动卡盘（3. 1.5)靠通孔的一侧设置有卡盘防渗漏垫圈 (3. 1. 6)； 所述旋转阀门内壳（3. 3)设置有旋转阀门内壳光胶容器接口（3.3. 1)、旋转阀门内 壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口（3. 3. 3)、旋转阀芯固定孔 (3. 3. 4)、销钉孔（3. 3. 5)和活动卡槽（3. 3. 6);所述旋转阀芯固定孔（3. 3. 4)设置于旋转 阀门内壳（3.3) -底面的中心位置且孔的一端是密封的，所述活动卡槽（3.3.6)设置于旋 转阀芯固定孔（3. 3. 4)的未密封端；所述旋转阀门内壳光胶容器接口（3. 3. 1)、旋转阀门内 壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)和旋转阀门内壳光胶抽取装置接口（3. 3. 3)分别设置于旋转阀门 内壳（3. 3)的三个侧面上且各接口均与旋转阀芯固定孔（3. 3.4)连通，各接口均设置有内 螺纹；所述销钉孔（3. 3. 5)设置于旋转阀门内壳（3. 3)底面的四个角上，用于固定旋转阀门 ⑶。 所述旋转阀芯（3. 1)带通孔的一端与旋转阀芯固定孔（3. 3. 4)相匹配，所述活动卡盘 (3. 1. 5)与活动卡槽（3. 3. 6)相匹配，旋转阀芯（3. 1)和旋转阀门内壳（3. 3)通过活动卡盘 (3. 1. 5)与活动卡槽（3. 3. 6)固定连接，且二者可相对旋转；在旋转阀芯（3. 1)旋转一定角 度后，所述第一通孔（3. 1. 1)孔、第二通孔（3. 1. 2)孔分别与所述旋转阀门内壳光胶容器接 口（3. 3. 1)的内开口、旋转阀门内壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)的内开口、旋转阀门内壳光胶抽 取装置接口（3. 3. 3)的内开口中的二者相对应；所述旋转阀芯电机连接轴（3. 1.3)与动力 装置（7)相连。
3. 根据权利要求2所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述光刻胶传输 管（2)、光刻胶抽取装置（4)和涂布刮刀传输管（6)的一端设置有分别与所述旋转阀门内壳 光胶容器接口（3. 3.1)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口（3. 3. 3)和旋转阀门内壳涂布刮 刀接口（3.3.2)内螺纹相匹配的外螺纹，光刻胶传输管（2)、光刻胶抽取装置（4)和涂布刮 刀传输管（6)分别与旋转阀门内壳光胶容器接口（3.3. 1)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接 口（3. 3. 3)和旋转阀门内壳涂布刮刀接口（3. 3. 2)相连。
4. 根据权利要求2或3所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述光刻胶 抽取装置（4)设置有光刻胶抽取筒（4. 1)和光刻胶抽取活塞（4. 2);光刻胶抽取活塞（4. 2) 设置于光刻胶抽取筒（4. 1)内。
5. 根据权利要求4所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述动力装置（7) 包括主控电路（7. 1)、旋转阀芯电机（7. 2)和直线电机（7. 3);主控电路（7. 1)分别与旋转 阀芯电机（7. 2)和直线电机（7. 3)相连，旋转阀芯电机（7. 2)与所述旋转阀芯电机连接轴 (3. 1. 3)相连，直线电机（7. 3)与所述光刻胶抽取活塞（4. 2)相连。
6. 根据权利要求2所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述光刻胶传输 管（2)上设置有过滤器（2. 1)。
【文档编号】H01L21/67GK104155848SQ201410350544
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年7月22日 优先权日:2014年7月22日
【发明者】杨海浪, 魏锋, 禹浩荣 申请人:四川虹视显示技术有限公司