技术编号:7058458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种沟槽型IGBT及制备方法,通过硅衬底中间区域增加掺杂较重的P型区和N型区,诱导电子流向N结型区集中,并穿过P型区区域,通过P型体区最终到达集电极,由于电中性原则,电子的集中增加了电子在N型区外围的浓度,这提高了空穴在N型区外围的浓度,从而提高了该区域的电导调制效应,而空穴则通过P型区扩散至发射极;本发明利用了电荷平衡原则,通过增加在该区域的电场强度,因此使得在相同漂移区厚度下可以获得更大的电压,进而降低厚度和提高电导调制效应,有效降低了器件...
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