技术编号:7060007
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种能提高电隔离能力的脊波导芯片结构,包括在N型衬底上顺序层叠的N型缓冲层、N型下限制层、下波导层、有源层、上波导层、P型上限制层、P型高掺杂层和N型隔离层,所述N型隔离层和P型高掺杂层上设有电流注入窗口,所述电流注入窗口设有在所述P型高掺杂层和P型上限制层中行进的脊波导,所述脊波导包括脊形台面和沟槽,所述有源层的发光窗口位于所述电流注入窗口下,除所述电流注入窗口下的有源层发光窗口对应的脊形台面外,剩余面均设有SiO2隔离膜。本发明还提供一种前述...
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