技术编号:7065312
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种EEPROM及其制备方法,尤其是一种具有单层多晶的EEPROM及其制备方法,属于半导体的。按照本发明提供的技术方案,所述具有多层单晶的EEPROM,包括半导体基板;在所述半导体基板内的上部设置若干用于数据存储的存储单元,所述存储单元包括控制电容、PMOS编程晶体管以及与所述PMOS编程晶体管串联的PMOS选择晶体管;控制电容通过半导体基板内的隔离介质与PMOS编程晶体管以及PMOS选择晶体管相隔离;本发明结构紧凑,降低加工成本以及工艺复杂度,...
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